<i>α</i>-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>电容薄膜湿度传感器

ISSN 1001-0548
CN 51-1207/TN
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α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器

Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films