α-Al2O3电容薄膜湿度传感器

史青; 张晓卫; 金懋昌

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α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器

史青, 张晓卫, 金懋昌

文章导航 > 电子科技大学学报 > 1997 > 26(4): 387-390

史青, 张晓卫, 金懋昌. α-Al2O3电容薄膜湿度传感器[J]. 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 387-390.

引用本文:

史青, 张晓卫, 金懋昌. α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器[J]. 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 387-390.

Shi Qing, Zhang Xiaowei, Jin Maochang. Humidity Sensors Using α-Al2O3 Capacitance Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1997, 26(4): 387-390.

Citation:

Shi Qing, Zhang Xiaowei, Jin Maochang. Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1997, 26(4): 387-390.

α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器

1.
电子科技大学材料分析中心,光电中心成都 610054

基金项目:

电子部预研基金

详细信息

作者简介:
史青女 32岁大学工程师

中图分类号: TN304.52;TN379

Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films

1.
Centen for Materials analysis,Center for Opticelectronic Records,UEST of China Chengdu 610054

摘要: 论述了氧化铝薄膜电容湿度传感器的性能,提出了采用α-Al2O3薄膜作湿敏层的新型氧化铝薄膜湿度传感器,简述了该湿敏元件的制备方法和基本特性。最后讨论了目前尚存在的问题。
- 湿度 /
- 薄膜 /
- 氧化铝 /
- 湿敏 /
- 阳极火花沉积
Abstract: After reviewing the characteristics of the alumina film capactiance humidity sensors,a new alumina film humidity sensor employing α Alumina film is suggested.The fabrication method and primary characteristics are described in this paper.Finally,those problems that have not been solved are discussed.
- humidity /
- films /
- alumina /
- humidity sensor /
- anodic spark deposition

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α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器

1. 电子科技大学材料分析中心,光电中心成都 610054

基金项目:

电子部预研基金

作者简介:
史青女 32岁大学工程师

收稿日期: 1997-01-03
修回日期: 1997-03-11
刊出日期: 1997-08-15

中图分类号: TN304.52;TN379

关键词:

摘要: 论述了氧化铝薄膜电容湿度传感器的性能,提出了采用α-Al2O3薄膜作湿敏层的新型氧化铝薄膜湿度传感器,简述了该湿敏元件的制备方法和基本特性。最后讨论了目前尚存在的问题。

English Abstract

史青, 张晓卫, 金懋昌. α-Al2O3电容薄膜湿度传感器[J]. 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 387-390.

引用本文:

史青, 张晓卫, 金懋昌. α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器[J]. 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 387-390.

Shi Qing, Zhang Xiaowei, Jin Maochang. Humidity Sensors Using α-Al2O3 Capacitance Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1997, 26(4): 387-390.

Citation:

Shi Qing, Zhang Xiaowei, Jin Maochang. Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1997, 26(4): 387-390.

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作者简介:
史青女 32岁大学工程师

Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films

计量

α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器

1. 电子科技大学材料分析中心,光电中心成都 610054

作者简介:
史青女 32岁大学工程师

English Abstract

Humidity Sensors Using α-Al₂O₃ Capacitance Thin Films

1. Centen for Materials analysis,Center for Opticelectronic Records,UEST of China Chengdu 610054

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