低阻ITO玻璃的制造工艺

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低阻ITO玻璃的制造工艺

杨健君, 李军建, 张有润, 王军, 林慧, 饶海波, 蒋泉, 成建波

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杨健君, 李军建, 张有润, 王军, 林慧, 饶海波, 蒋泉, 成建波. 低阻ITO玻璃的制造工艺[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 261-263.

引用本文:

杨健君, 李军建, 张有润, 王军, 林慧, 饶海波, 蒋泉, 成建波. 低阻ITO玻璃的制造工艺[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 261-263.

YANG Jian-jun, LI Jun-jian, ZHANG You-run, WANG Jun, LIN Hui, RAO Hai-bo, JIANG Quan, CHENG Jian-bo. Crafts in ITO Glass for OLED Used[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 261-263.

Citation:

YANG Jian-jun, LI Jun-jian, ZHANG You-run, WANG Jun, LIN Hui, RAO Hai-bo, JIANG Quan, CHENG Jian-bo. Crafts in ITO Glass for OLED Used[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 261-263.

低阻ITO玻璃的制造工艺

1.
电子科技大学光电信息学院成都 610054

基金项目:

广东省“十五”重大基金资助项目(H0401001W050311)

作者简介:
杨健君(1974-),男,博士,讲师,主要从事光学工程、图像显示等方面的研究.

中图分类号: TN305

Crafts in ITO Glass for OLED Used

1.
School of Photo-Electronic Information,UEST of China Chengdu 610054

摘要: 有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求。该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200 W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火。得到方阻20Ω以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃。
- 氧化铟锡 /
- 玻璃 /
- 有机发光二极管
Abstract: Low resistivity Indium Tin Oxide (ITO) films were deposited by DC magnetron sputtering using ITO targets. Films deposited at substrate temperature of 250℃ with 200 W input DC power, in an oxygen/argon atmosphere, argon flow was kept at about 16 sccm and the oxygen flow was less than 1sccm, respectively. Annealing of the ITO films without oxygen for 1 h was necessary for achieving low resistivities. Low resistivity (80%) in visible region were found to occur at a high annealing temperature about 350℃.
- indium tin oxide /
- glass /
- organic light-emitting diode

[1]	罗海燕, 李世彬, 王文武. 微结构硅基光电二极管的近红外响应特性研究 . 电子科技大学学报, 2023, 52(6): 830-834. doi: 10.12178/1001-0548.2022227
[2]	田东斌, 潘齐凤, 张选红, 马建华, 刘桥, 杨邦朝. 高压有机片式钽电容器高温可靠性研究 . 电子科技大学学报, 2018, 47(5): 761-765. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2018.05.019
[3]	谢光忠, 吴寸雪, 蒋亚东, 太惠玲, 苏元捷, 杜晓松. 有机薄膜晶体管气体传感器的研究进展 . 电子科技大学学报, 2016, 45(4): 664-673. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.04.019
[4]	李理, 张勇, 赵伟, 钟伟, 刘双, 卢秋全, 徐锐敏. 基于二极管三维模型的太赫兹倍频器研究 . 电子科技大学学报, 2015, 44(3): 369-374. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.03.009
[5]	马奎, 杨发顺, 傅兴华. 基于超结结构的肖特基势垒二极管 . 电子科技大学学报, 2015, 44(1): 134-139. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.01.023
[6]	徐洁, 李青, 林慧, 王洪. MoO₃源漏电极缓冲层对有机薄膜晶体管性能的影响 . 电子科技大学学报, 2012, 41(6): 941-943. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.06.024
[7]	杨浩, 裴蕾, 李昌顺, 杨梅. 基于改进Zernike矩的玻璃瓶亚像素边缘检测算法 . 电子科技大学学报, 2012, 41(6): 875-880. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.06.011
[8]	文尚胜, 王保争, 牛晶华, 李爱源. 聚合物白光发光二极管的研究进展 . 电子科技大学学报, 2011, 40(2): 307-311. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.02.030
[9]	蒋亚东, 陈璇, 太惠玲, 谢光忠, 杜晓松. 掺杂剂对聚苯胺/二氧化钛复合薄膜氨敏特性的影响 . 电子科技大学学报, 2008, 37(5): 773-776.
[10]	于军胜, 李璐, 季兴桥, 黎威志, 王涛, 李伟. ADN掺杂的高效率红光有机电致发光器件的制备 . 电子科技大学学报, 2008, 37(3): 457-459.
[11]	李璐, 于军胜, 季兴桥, 黎威志, 王涛. 使用AlQ的高效率红色有机电致发光器件 . 电子科技大学学报, 2008, 37(5): 782-784.
[12]	于军胜, 李青, 娄双玲, 李璐, 黎威志, 蒋亚东. TPBTSi配合物的绿色有机发光器件研究 . 电子科技大学学报, 2008, 37(4): 618-620.
[13]	阳秀, 黎威志, 钟志有, 蒋亚东. 空穴传输层厚度对OLED性能的影响 . 电子科技大学学报, 2007, 36(5): 958-961.
[14]	黎威志, 季兴桥, 阳秀, 钟志有, 蒋亚东. ITO表面改性对有机电致发光器件性能的影响 . 电子科技大学学报, 2007, 36(5): 955-957,961.
[15]	高佳辉, 吴孟强, 张树人. 纳米氧化镍的制备及其电化学电容 . 电子科技大学学报, 2006, 35(6): 960-963.
[16]	周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜 . 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.
[17]	王涛, 蒋亚东, 黎威智. 有机电致发光显示器交流驱动电路研究 . 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 264-267.
[18]	李元勋, 唐先忠, 韩莉坤. 新型有机电致发光材料合成工艺的研究 . 电子科技大学学报, 2005, 34(6): 843-845.
[19]	刘大刚, 祝大军, 刘盛纲. 爆炸式发射二极管的粒子模拟研究 . 电子科技大学学报, 2005, 34(4): 481-484.
[20]	杨存宇, 黄金源, 杨中海. 真空微电子三极管与四极管的模拟计算 . 电子科技大学学报, 1999, 28(1): 62-65.

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低阻ITO玻璃的制造工艺

1. 电子科技大学光电信息学院成都 610054

基金项目:

广东省“十五”重大基金资助项目(H0401001W050311)

作者简介:
杨健君(1974-),男,博士,讲师,主要从事光学工程、图像显示等方面的研究.

收稿日期: 2005-09-01
刊出日期: 2006-04-15

中图分类号: TN305

关键词:

摘要: 有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求。该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200 W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火。得到方阻20Ω以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃。

English Abstract

杨健君, 李军建, 张有润, 王军, 林慧, 饶海波, 蒋泉, 成建波. 低阻ITO玻璃的制造工艺[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 261-263.

引用本文:

杨健君, 李军建, 张有润, 王军, 林慧, 饶海波, 蒋泉, 成建波. 低阻ITO玻璃的制造工艺[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 261-263.

YANG Jian-jun, LI Jun-jian, ZHANG You-run, WANG Jun, LIN Hui, RAO Hai-bo, JIANG Quan, CHENG Jian-bo. Crafts in ITO Glass for OLED Used[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 261-263.

Citation:

YANG Jian-jun, LI Jun-jian, ZHANG You-run, WANG Jun, LIN Hui, RAO Hai-bo, JIANG Quan, CHENG Jian-bo. Crafts in ITO Glass for OLED Used[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 261-263.

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