溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2006 > 35(5): 823-825,828

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

引用本文:

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

Citation:

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

1.
电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金重大项目(60390073);“973”项目(51210Z09)

作者简介:
周英(1969-),女,硕士生,主要从事材料物理与化学方面的研究.

中图分类号: O649.4

Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method

1.
School of Microelectronics and Solid State Electronics,Univ. of Electron. Sci. & Tech. of China Chengdu 610054

摘要: 采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40~90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV。
- 溶胶-凝胶法 /
- ZnO薄膜 /
- c轴择优取向性 /
- 禁带宽度
Abstract: The ZnO thin films are prepared on glass sheets by sol-gel technology, which are characterized by X-ray diffraction, atomic force microscopy and ultra-violet spectrum. The results indicate that the thin films are c-orientation, highly visible transmittance, homogeneous and dense surface with the crystalline structure of hexagonal wurtizite, the crystalline dimension of 40～90 nm. The crystal size increases with the increasing sol concentration, and the films are highly oriented in (002) direction as the growing of the film layers. The transmittance has a sharp fundamental absorption edge in UV region, the optical band gap is evaluate to be around 3.34 eV.
- sol-gel /
- ZnO thin films /
- c-axis orientation /
- band gap

[1]	孙斌玮, 杨明, 苟君, 王军, 蒋亚东. 溶胶凝胶法制备LiTaO₃薄膜 . 电子科技大学学报, 2020, 49(2): 283-286. doi: 10.12178/1001-0548.2019098
[2]	陈柳, 曾成, 褚青如, 张洁, 补世荣, 宁俊松. 利用金属环聚焦的HTS薄膜R_s分布测试法的研究 . 电子科技大学学报, 2017, 46(1): 156-160. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.01.021
[3]	叶芸, 郭太良, 蒋亚东, 黎威智. PVDF薄膜的极化及其电性能研究 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 463-466. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.027
[4]	牟青, 魏平. 低信噪比下长码直扩信号的符号宽度估计 . 电子科技大学学报, 2011, 40(3): 352-356. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.03.004
[5]	李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031
[6]	吴大鹏, 武穆清, 甄岩, 孙兵. 带有碰撞感知的MANET可用带宽估计方法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(6): 1031-1033. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.06.029
[7]	张波, 邓小川, 陈万军, 李肇基. 宽禁带功率半导体器件技术 . 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 618-623. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.018
[8]	曾成, 罗正祥, 张其劭, 羊恺. 镜像法高温超导薄膜表面电阻测试装置的改进 . 电子科技大学学报, 2009, 38(2): 214-217. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.02.14
[9]	唐斌, 邓宏, 张强, 税正伟. 基片表面朝向对ZnO纳米线生长机理的影响 . 电子科技大学学报, 2009, 38(1): 134-136.
[10]	黄大贵, 谢明君, 张德银, 董政. LiTaO₃薄膜红外探测器热分析 . 电子科技大学学报, 2008, 37(4): 637-640.
[11]	张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响 . 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.
[12]	董加和, 杨成韬, 郑泽渔, 李健雄, 张树人. 基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算 . 电子科技大学学报, 2007, 36(5): 952-954,968.
[13]	傅晓林, 杨志刚, 王兴家. Multisim在喷油脉冲宽度检测中的应用 . 电子科技大学学报, 2006, 35(1): 43-46.
[14]	葛启函, 邓宏, 陈航, 徐自强. 不同掺Al³⁺浓度的ZnO:Al薄膜性能研究 . 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 253-256.
[15]	吴援明, 黄际彦. 自相似业务流的有效带宽 . 电子科技大学学报, 2005, 34(3): 328-331.
[16]	曾葆青, 田时开, 殷吉昊, 杨中海. 碳纳米管薄膜的场发射特性研究 . 电子科技大学学报, 2003, 32(6): 624-627.
[17]	赵金, 陈鸣. 网络非对称链路带宽的测量 . 电子科技大学学报, 2002, 31(4): 404-408.
[18]	张映敏, 罗正祥, 羊恺, 张其劭. 高温超导薄膜微波表面电阻测试方法 . 电子科技大学学报, 2001, 30(6): 633-637.
[19]	贾宇明, 杨邦朝. Ta/Al合金薄膜TCR的方差分析 . 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 398-401.
[20]	周鸿仁, 刘秀蓉, 徐蓓娜. 直流磁控溅射铂电阻薄膜 . 电子科技大学学报, 1997, 26(6): 662-665.

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 3736
HTML全文浏览量: 237
PDF下载量: 90
被引次数: 0

溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

1. 电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金重大项目(60390073);“973”项目(51210Z09)

作者简介:
周英(1969-),女,硕士生,主要从事材料物理与化学方面的研究.

收稿日期: 2004-07-02
刊出日期: 2006-10-15

中图分类号: O649.4

关键词:

摘要: 采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40~90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV。

English Abstract

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

引用本文:

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

Citation:

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

全文HTML

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回

期刊在线

编辑办公

友情链接

电子科技大学

版权所有 © 《电子科技大学学报》编辑部

地址: 成都市建设北路二段四号电子科技大学主楼中350室电话: 028-83202308,83207559 Email: xuebao@uestc.edu.cn

本系统由北京仁和汇智信息技术有限公司开发