应力对LaAlO<sub>3</sub>/BaTiO<sub>3</sub>超晶格结构及性能的影响

李燕; 郝兰众; 邓宏; 张鹰; 姬红

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应力对LaAlO₃/BaTiO₃超晶格结构及性能的影响

李燕, 郝兰众, 邓宏, 张鹰, 姬红

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李燕, 郝兰众, 邓宏, 张鹰, 姬红. 应力对LaAlO3/BaTiO3超晶格结构及性能的影响[J]. 电子科技大学学报, 2005, 34(3): 399-402.

引用本文:

李燕, 郝兰众, 邓宏, 张鹰, 姬红. 应力对LaAlO₃/BaTiO₃超晶格结构及性能的影响[J]. 电子科技大学学报, 2005, 34(3): 399-402.

LI Yan, HAO Lan-zhong, DENG Hong, ZHANG Ying, JI Hong. Effect of Stress on the Structure and Ferroelectric Properties of LaAlO3/BaTiO3 Superlattices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2005, 34(3): 399-402.

Citation:

LI Yan, HAO Lan-zhong, DENG Hong, ZHANG Ying, JI Hong. Effect of Stress on the Structure and Ferroelectric Properties of LaAlO₃/BaTiO₃ Superlattices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2005, 34(3): 399-402.

应力对LaAlO₃/BaTiO₃超晶格结构及性能的影响

1.
电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家973重大基础研究基金资助项目

详细信息

作者简介:
李燕(1962-),女,副教授,主要从事电子信息材料与元器件方面的研究;郝兰众(1978-),男,硕士,主要从事低维氧化物超晶格薄膜方面的研究.

李燕(1962-),女,副教授,主要从事电子信息材料与元器件方面的研究;郝兰众(1978-),男,硕士,主要从事低维氧化物超晶格薄膜方面的研究.

中图分类号: TB43

Effect of Stress on the Structure and Ferroelectric Properties of LaAlO₃/BaTiO₃ Superlattices

1.
School of Microelectronics and Solid Sate Electronics,UEST of China Chengdu 610054

摘要: 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格。利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超晶格的生长过程和微结构进行了表征。发现由于LaAlO3和BaTiO3晶格常数的不匹配,在LaAlO3/BaTiO3超晶格中存在应变,该应变又对超晶格的铁电性能具有很大的影响。而不同的结构存在的应变不同,非对称结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格的应变随每个周期中LaAlO3层厚度的增加、BaTiO3层厚度的减少而增大,其剩余极化强度不仅未减少,反而增加。
- 超晶格 /
- 反射式高能电子衍射 /
- X射线衍射 /
- 剩余极化
Abstract: LaAlO3/BaTiO3 superlattices were prepared on (100) oriented SrTiO3 or Nb-doped SrTiO3 substrates by laser molecular beam epitaxy. The change of diffraction streaks observed in reflection high-energy electron diffraction during the growth of LaAlO3 and BaTiO3 illustrated the different epitaxial growth for LaAlO3 and BaTiO3. The X-ray diffraction spectra of the superlattices with different thickness of LaAlO3 and BaTiO3 layers within a period showed that the c-axis lattice constants changed with layer thickness due to the strain induced by lattice mismatch between LaAlO3 and BaTiO3. The remanent polarization of the superlattices increased with decreasing the thickness of BaTiO3 layers and increasing the thickness of LaTiO3 layers. This suggests that the remanent polarization is closely related with the lattice strain in the superlattices.
- superlattice /
- reflection high-energy electron diffraction /
- X-ray diffraction /
- remanent polarization

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[9]	顾小卫, 蒙林. 可调谐X射线SASE自由电子激光器的数值模拟 . 电子科技大学学报, 2013, 42(6): 875-879. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.06.012
[10]	叶芸, 郭太良, 蒋亚东, 黎威智. PVDF薄膜的极化及其电性能研究 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 463-466. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.027
[11]	张德祥, 吴小培, 高清维, 郭晓静. 基于平稳Contourlet变换的极化SAR图像融合 . 电子科技大学学报, 2010, 39(2): 200-203. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.02.010
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应力对LaAlO₃/BaTiO₃超晶格结构及性能的影响

1. 电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家973重大基础研究基金资助项目

作者简介:
李燕(1962-),女,副教授,主要从事电子信息材料与元器件方面的研究;郝兰众(1978-),男,硕士,主要从事低维氧化物超晶格薄膜方面的研究.

李燕(1962-),女,副教授,主要从事电子信息材料与元器件方面的研究;郝兰众(1978-),男,硕士,主要从事低维氧化物超晶格薄膜方面的研究.

收稿日期: 2005-03-21
刊出日期: 2005-06-15

中图分类号: TB43

关键词:

摘要: 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格。利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超晶格的生长过程和微结构进行了表征。发现由于LaAlO3和BaTiO3晶格常数的不匹配,在LaAlO3/BaTiO3超晶格中存在应变,该应变又对超晶格的铁电性能具有很大的影响。而不同的结构存在的应变不同,非对称结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格的应变随每个周期中LaAlO3层厚度的增加、BaTiO3层厚度的减少而增大,其剩余极化强度不仅未减少,反而增加。

English Abstract

李燕, 郝兰众, 邓宏, 张鹰, 姬红. 应力对LaAlO3/BaTiO3超晶格结构及性能的影响[J]. 电子科技大学学报, 2005, 34(3): 399-402.

引用本文:

李燕, 郝兰众, 邓宏, 张鹰, 姬红. 应力对LaAlO₃/BaTiO₃超晶格结构及性能的影响[J]. 电子科技大学学报, 2005, 34(3): 399-402.

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1. 电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

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1. 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都 610054

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