衬底效应对LiTaO<sub>3</sub>薄膜制备的影响

张德银; 黄大贵; 李金华; 但迪迪; 董政

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衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响

张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政

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张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO3薄膜制备的影响[J]. 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.

引用本文:

张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响[J]. 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.

ZHANG De-yin, HUANG Da-gui, LI Jin-hua, DAN Di-di, DONG Zheng. Substrate Effects on Preparation of LiTaO3 Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2007, 36(4): 660-662,669.

Citation:

ZHANG De-yin, HUANG Da-gui, LI Jin-hua, DAN Di-di, DONG Zheng. Substrate Effects on Preparation of LiTaO₃ Thin Films[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2007, 36(4): 660-662,669.

衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响

1.
电子科技大学机械电子工程学院成都 610054;
2.
中国民航飞行学院航空工程学院四川广汉 618307;
3.
江苏工业学院信息科学系江苏常州 213016

基金项目:

国家自然科学基金资助项目(60572007)

详细信息

作者简介:
张德银(1971-),男,在职博士生,副教授,主要从事传感器设计、制造和与应用方面的研究.

中图分类号: TN215

Substrate Effects on Preparation of LiTaO₃ Thin Films

1.
School of Eelectromechanics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054;
2.
Aviation Engineering Institute,Civil Aviation Flight University of China Guanghan Sichuan 618307;
3.
Department of Information Science,Jiangsu Ploytechnic University,Changzhou Jiangsu 213016

摘要: 用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2 μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明:N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在(012)晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸锂薄膜有更好的C轴择优取向性,C轴择优取向系数可达0.082。
- LiTaO3 /
- 择优晶向 /
- 溶胶凝胶 /
- 衬底效应 /
- 薄膜
Abstract: The sol-gel derived LiTaO3 thin films were prepared on the substrates of N-type Si (100), P-type Si (111), Quartz, Pt/TiO2/SiO2/Si (100), and Nickel, respectively. The properties of LiTaO3 thin films were measured using XRD and SEM. Experimental results show the doped epoxy resin can improve the uniformity of LiTaO3 thin films and the adhesiveness between LiTaO3 thin films and the substrates. The relation between thin film thickness and substrate effect was studied. The intensive peak of XRD of the Nickel substrate does not appear again when the thickness of LiTaO3 thin film excesses 0.2 μm, and the result shows that the substrates have important influence on the initial crystallization of the LiTaO3 thin film. The XRD results also show only polycrystalline LiTaO3 thin films can be prepared on N-type Si (100), P-type Si (111), and Quartz substrate. The LiTaO3 thin films deposited on the Pt/TiO2/SiO2/Si (100) substrate has a strong (012) plane preferred orientation. The LiTaO3 thin films deposited on the Nickel substrate has a perfect C-axis preferred orientation with a large C-axis orientation degree factor of 0.082.
- LiTaO3 /
- preferred orientation /
- sol-gel /
- substrate effects /
- thin film

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[2]	王敏, 李文芳, 张果戈, 王晓军, 唐鹏. Ba_xSr_1-xTiO₃微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能 . 电子科技大学学报, 2015, 44(5): 778-783. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.023
[3]	余毅, 梁晓琴, 黄平, 冯玉芳, 杨春. AlN/Al₂O₃(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究 . 电子科技大学学报, 2013, 42(5): 784-786. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027
[4]	叶芸, 郭太良, 蒋亚东, 黎威智. PVDF薄膜的极化及其电性能研究 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 463-466. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.027
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[6]	尹刚, 刘铁军. Go/NoGo实验下NoGo-N2、P3效应分析 . 电子科技大学学报, 2011, 40(3): 465-469. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.03.027
[7]	陈达, 张玉明, 张义门, 王悦湖. Si衬底上3C-SiC异质外延应力的消除 . 电子科技大学学报, 2011, 40(1): 134-137. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.01.025
[8]	魏昭荣, 杨定宇, 朱兴华, 杨维清. 电子束蒸发法制备MoO₃薄膜及其性质研究 . 电子科技大学学报, 2011, 40(6): 933-936. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.06.024
[9]	李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031
[10]	蒲娟, 吴志明, 蒋亚东, 熊昊, 张良昌. 氮化硅薄膜热性能测试研究 . 电子科技大学学报, 2009, 38(2): 313-316. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.02.37
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[15]	曾葆青, 田时开, 殷吉昊, 杨中海. 碳纳米管薄膜的场发射特性研究 . 电子科技大学学报, 2003, 32(6): 624-627.
[16]	张映敏, 罗正祥, 羊恺, 张其劭. 高温超导薄膜微波表面电阻测试方法 . 电子科技大学学报, 2001, 30(6): 633-637.
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[20]	史青, 张晓卫, 金懋昌. α-Al₂O₃电容薄膜湿度传感器 . 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 387-390.

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1. 电子科技大学机械电子工程学院成都 610054;

2. 中国民航飞行学院航空工程学院四川广汉 618307;

3. 江苏工业学院信息科学系江苏常州 213016

基金项目:

国家自然科学基金资助项目(60572007)

作者简介:
张德银(1971-),男,在职博士生,副教授,主要从事传感器设计、制造和与应用方面的研究.

收稿日期: 2006-05-15
刊出日期: 2006-08-15

中图分类号: TN215

关键词:

摘要: 用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2 μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明:N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在(012)晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸锂薄膜有更好的C轴择优取向性,C轴择优取向系数可达0.082。

English Abstract

Substrate Effects on Preparation of LiTaO₃ Thin Films

1. School of Eelectromechanics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054;

2. Aviation Engineering Institute,Civil Aviation Flight University of China Guanghan Sichuan 618307;

3. Department of Information Science,Jiangsu Ploytechnic University,Changzhou Jiangsu 213016

Received Date: 2006-05-15
Publish Date: 2006-08-15

Keywords:

Abstract: The sol-gel derived LiTaO3 thin films were prepared on the substrates of N-type Si (100), P-type Si (111), Quartz, Pt/TiO2/SiO2/Si (100), and Nickel, respectively. The properties of LiTaO3 thin films were measured using XRD and SEM. Experimental results show the doped epoxy resin can improve the uniformity of LiTaO3 thin films and the adhesiveness between LiTaO3 thin films and the substrates. The relation between thin film thickness and substrate effect was studied. The intensive peak of XRD of the Nickel substrate does not appear again when the thickness of LiTaO3 thin film excesses 0.2 μm, and the result shows that the substrates have important influence on the initial crystallization of the LiTaO3 thin film. The XRD results also show only polycrystalline LiTaO3 thin films can be prepared on N-type Si (100), P-type Si (111), and Quartz substrate. The LiTaO3 thin films deposited on the Pt/TiO2/SiO2/Si (100) substrate has a strong (012) plane preferred orientation. The LiTaO3 thin films deposited on the Nickel substrate has a perfect C-axis preferred orientation with a large C-axis orientation degree factor of 0.082.

张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO3薄膜制备的影响[J]. 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.

引用本文:

张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响[J]. 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.

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1. 电子科技大学机械电子工程学院成都 610054;

2. 中国民航飞行学院航空工程学院四川广汉 618307;

3. 江苏工业学院信息科学系江苏常州 213016

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1. 电子科技大学机械电子工程学院 成都 610054; 2. 中国民航飞行学院航空工程学院 四川 广汉 618307; 3. 江苏工业学院信息科学系 江苏 常州 213016

作者简介: 张德银(1971-),男,在职博士生,副教授,主要从事传感器设计、制造和与应用方面的研究.

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张德银(1971-),男,在职博士生,副教授,主要从事传感器设计、制造和与应用方面的研究.

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