电容式微机械加速度计系统动态特性研究

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

电容式微机械加速度计系统动态特性研究

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2002 > 31(5): 497-501

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

引用本文:

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

Citation:

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

电容式微机械加速度计系统动态特性研究

1.
中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳 621900;
2.
电子科技大学成都 610054

基金项目:

国家"九五"重点科研基金资助项目

作者简介:
陈宇晓男 30岁硕士生

中图分类号: V241.45

Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer

1.
Institute of Electronic Engineering,CAEP Mianyang 621900;
2.
UEST of China Chengdu 610054

摘要: 建立了电容式微机械加速度计闭环系统的二阶近似模型,分析了伺服电路增益和带宽对闭环系统动态特性的影响,提出了调节伺服电路参数来补偿系统动态性能的方法,给出了不同输入条件下系统初始启动稳定时间和输出误差的计算方法。
- 微机械加速度计 /
- 闭环模型 /
- 动态特性 /
- 补偿方法 /
- 系统响应
Abstract: The second-order proximate model on closed-loop system of Micromachined Capacitive Accelerometer is set up. Influence of the gain and bandwidth of servo-circuit on the dynamic behavior of closed-loop system is analyzed. The method to compensate dynamic performance of servo-system by adjusting the parameters of servo-circuit is put forward. The computational methods of start-up response time and output error of servo-system are given in different inputs.
- micromachined accelerometer /
- closed-loop model /
- dynamic behavior /
- compensatory method /
- response of system

[1]	虎勇, 李绍荣, 郭威, 蒋婷, 郭小伟, 邹力, 任颖慧, 梁杰. ±16 g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计 . 电子科技大学学报, 2023, 52(3): 444-450. doi: 10.12178/1001-0548.2022240
[2]	胡章芳, 曾念文, 罗元, 肖雨婷, 钟征源. 基于原图-光照不变图视觉词典改进的闭环检测方法 . 电子科技大学学报, 2021, 50(4): 586-591. doi: 10.12178/1001-0548.2020272
[3]	邢文革, 桂佑林, 顾万里. 多传感器系统误差特性匹配的动态估计与补偿算法 . 电子科技大学学报, 2021, 50(2): 186-192. doi: 10.12178/1001-0548.2020117
[4]	李文强, 王强, 李彦, 任代祥. 一种近似响应面模型的链轮优化设计方法 . 电子科技大学学报, 2019, 48(2): 288-295. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2019.02.020
[5]	彭倍, 周吴, 李伦, 于慧君, 彭鹏, 何晓平. 硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响 . 电子科技大学学报, 2016, 45(4): 696-700. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.04.023
[6]	陈永兴, 吴晓燕, 曾华. 基于HHT的仿真模型动态一致性方差分析方法 . 电子科技大学学报, 2014, 43(4): 568-574. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.04.017
[7]	王敏娟, 陈建军, 林立广, 贾爱芹, 魏永祥. 区间参数智能梁结构闭环系统动态特性分析 . 电子科技大学学报, 2011, 40(1): 152-156. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.01.029
[8]	李刚俊, 陈松明. 精密谐波传动系统的动态模型研究 . 电子科技大学学报, 2010, 39(5): 742-746,773. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.05.020
[9]	王剑, 王宏, 杨志家. 动态参数模型确定SoC中异步FIFO深度的方法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(3): 447-450. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.031
[10]	李绍荣, 杨世翰, 吴尽昭. Moore机表示的系统迭代设计动态CTL模型检验的不变性研究 . 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 669-677. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.026
[11]	刘颜回, 聂在平, 赵志钦. 一种自适应补偿天波雷达系统中电离层运动的方法 . 电子科技大学学报, 2008, 37(3): 335-338.
[12]	刘晓明, 王录涛. MEMS加速度传感器的引信数据采集系统设计 . 电子科技大学学报, 2008, 37(2): 309-312.
[13]	陈宇晓, 杨谟华, 唐丹. 快脉冲传输线分布电容补偿模型和计算方法 . 电子科技大学学报, 2006, 35(6): 909-912.
[14]	王卫东, 贾建援, 樊康旗, 李萌萌. 电容式微加速度计的气膜阻尼分析 . 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 221-224.
[15]	谭良, 罗讯, 周明天. 动态多级安全系统安全标记的格模型 . 电子科技大学学报, 2004, 33(4): 442-445.
[16]	周世杰, 秦志光, 张峰, 张险峰, 刘锦德. 基于多Agent的入侵快速响应系统 . 电子科技大学学报, 2004, 33(4): 419-422.
[17]	陈屹, 黎亚元. 两相交流伺服电机动态性能的研究 . 电子科技大学学报, 2002, 31(3): 289-293.
[18]	方斌. 控制系统中的双线性变换研究 . 电子科技大学学报, 2002, 31(2): 192-195.
[19]	谢华. 一种电力系统非线性模型的混沌特性研究 . 电子科技大学学报, 2001, 30(3): 263-266.
[20]	王有隆, 陈福深. 伺服加速度计用于高精度倾角测量的研究 . 电子科技大学学报, 2001, 30(4): 391-395.

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 3356
HTML全文浏览量: 124
PDF下载量: 63
被引次数: 0

电容式微机械加速度计系统动态特性研究

1. 中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳 621900;

2. 电子科技大学成都 610054

基金项目:

国家"九五"重点科研基金资助项目

作者简介:
陈宇晓男 30岁硕士生

收稿日期: 2002-06-28
刊出日期: 2002-10-15

中图分类号: V241.45

关键词:

摘要: 建立了电容式微机械加速度计闭环系统的二阶近似模型,分析了伺服电路增益和带宽对闭环系统动态特性的影响,提出了调节伺服电路参数来补偿系统动态性能的方法,给出了不同输入条件下系统初始启动稳定时间和输出误差的计算方法。

English Abstract

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

引用本文:

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

Citation:

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

全文HTML

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回

期刊在线

编辑办公

友情链接

电子科技大学

版权所有 © 《电子科技大学学报》编辑部

地址: 成都市建设北路二段四号电子科技大学主楼中350室电话: 028-83202308,83207559 Email: xuebao@uestc.edu.cn

本系统由北京仁和汇智信息技术有限公司开发