TMAH在压力传感器制作中的应用

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TMAH在压力传感器制作中的应用

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如

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刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

引用本文:

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

Citation:

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

TMAH在压力传感器制作中的应用

1.
天津大学电子信息工程学院天津 300072

基金项目:

国家自然科学基金资助项目,基金号:69876027

作者简介:
刘洪男 24岁硕士生

中图分类号: TN379

Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor

1.
School of Electronic Information and Engineering,Tianjin University Tianjin 300072

摘要: 介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。
- 四甲基氢氧化铵 /
- 终止腐蚀 /
- 高温压力传感器 /
- 各向异性腐蚀 /
- 硅杯
Abstract: In this paper, etching characteristics of TMAH solutions is introduced. Application of TMAH solutions which is used as etchant in boron etch-stop and anisotropic etching process in the manufacturing of single-crystal and polysilicon pressure sensors is mainly discussed. Satisying process condition and experimental results are obtained through experiments.
- TMAH /
- etch-stop /
- high-temperature pressure sensor /
- anisotropic etching /
- silicon cup

[1]	陈果, 刘正波, 王韬, 张万里. 基于MEMS技术的集成压力−湿度传感器 . 电子科技大学学报, 2024, 53(1): 21-28. doi: 10.12178/1001-0548.2023017
[2]	常淑俊, 孙佳伟. 微机电硅谐振器动态建模及同步控制 . 电子科技大学学报, 2023, 52(3): 475-480. doi: 10.12178/1001-0548.2022371
[3]	尚飞, 胡潇然, 张千, 刘帅, 向勇. 面向机器人触觉的柔性压力传感器 . 电子科技大学学报, 2020, 49(4): 636-640. doi: 10.12178/1001-0548.2019222
[4]	谢光忠, 王斯, 谢法彪, 苏元捷. 自供能气体传感器研究进展 . 电子科技大学学报, 2018, 47(1): 139-146. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2018.01.021
[5]	曹雷, 康凯. 旋磁各向异性非均匀球体电磁散射特性 . 电子科技大学学报, 2018, 47(4): 502-507. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2018.04.005
[6]	王瑞锦, 黄耀东, 徐志远, 秦志光. 复杂山体表面传感器网络定位算法 . 电子科技大学学报, 2015, 44(3): 433-438. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.03.020
[7]	庄柳静, 郭添添, 胡宁, 许科帝, 郑筱祥, 王平. 高灵敏和高特异性生物嗅觉传感系统研究 . 电子科技大学学报, 2014, 43(6): 939-942. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.06.025
[8]	王瑞锦, 秦志光, 王佳昊. 无线传感器网络分簇路由协议分析 . 电子科技大学学报, 2013, 42(3): 400-405. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.03.016
[9]	饶云江, 陈一槐, 吴宇, 邓强. 微光纤环形谐振腔温度传感器 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 384-387. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.011
[10]	陈拥军, 袁慎芳. 无线传感器网络最小能耗拓扑控制研究 . 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 568-573. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.018
[11]	饶云江, 郭宇, 龚元. 基于腐蚀硼锗共掺光纤的自闭合光纤法-珀传感器 . 电子科技大学学报, 2012, 41(2): 227-231. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.02.011
[12]	贾晨军, 廖永建, 陈抗生. 无线传感器网络中的高效签名算法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(4): 537-541. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.04.015
[13]	鲁广铎, 邬劭轶, 张华明, 姚劲松. CaTiO₃中Co²⁺离子各向异性g因子的理论研究 . 电子科技大学学报, 2008, 37(6): 897-899.
[14]	周晓军, 林水生, 刘文达, 刘永智, 薛志英. 光纤微弱磁场传感器软件解调方法 . 电子科技大学学报, 2003, 32(3): 261-263.
[15]	龚俊杰, 周建华, 周晓军, 邱琪, 白晓明. 分布式光纤温度传感器 . 电子科技大学学报, 2003, 32(3): 328-330.
[16]	谢光忠, 蒋亚东, 杨邦朝. 温湿度智能传感器软件开发 . 电子科技大学学报, 2003, 32(1): 43-46.
[17]	张生才, 姚素英, 刘艳艳, 赵毅强, 张为. 高温压力传感器固态隔离封装技术的研究 . 电子科技大学学报, 2002, 31(2): 196-199.
[18]	何进, 王新, 陈星弼. 硅-硅直接键合界面上SiO₂的非稳定性 . 电子科技大学学报, 1999, 28(5): 494-497.
[19]	胡涛, 王守绪, 杨邦朝. 用单纯形优化法研究铝箔腐蚀工艺 . 电子科技大学学报, 1998, 27(4): 449-452.
[20]	王光泰, 周先敏, 徐继麟. 多传感器信息最优融合 . 电子科技大学学报, 1997, 26(5): 465-467.

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TMAH在压力传感器制作中的应用

1. 天津大学电子信息工程学院天津 300072

基金项目:

国家自然科学基金资助项目,基金号:69876027

作者简介:
刘洪男 24岁硕士生

收稿日期: 2000-01-19
刊出日期: 2000-12-15

中图分类号: TN379

关键词:

摘要: 介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。

English Abstract

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

引用本文:

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

Citation:

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

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