声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

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声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

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阮世池. 声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析[J]. 电子科技大学学报, 1998, 27(6): 605-608.

引用本文:

阮世池. 声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析[J]. 电子科技大学学报, 1998, 27(6): 605-608.

Ruan Shichi. Analysis of Thin-film Pole Separation of SAW Element with EPMA[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1998, 27(6): 605-608.

Citation:

Ruan Shichi. Analysis of Thin-film Pole Separation of SAW Element with EPMA[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1998, 27(6): 605-608.

声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

阮世池

1.
电子科技大学材料微观分析中心成都 610054

作者简介:
阮世池男 57岁大学副教授

中图分类号: TN16;TN303;TN304.055

Analysis of Thin-film Pole Separation of SAW Element with EPMA

Ruan Shichi

1.
Analysis Center of Electronic Materials,UEST of China Chengdu 610054

摘要: 电子探针显微分析法(EPMA)能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点,文中对Au/Cr/Bi12GeO20声表面波器件作了显微分析研究,探明了薄膜电极脱落发生在Cr膜与Bi12GeO20基片的界面上。由于Cr膜与基片间是弱的简单附着机制,并且Cr膜承受着强烈的内应力,最终导致薄膜电极脱落。
- 电子探针显微分析 /
- 薄膜电极 /
- 基片 /
- 附着力 /
- 内应力 /
- 脱落
Abstract: Based on microarea topograph and microarea composition with EPMA, an series of Au/Cr/Bi12GeO20 SAW elements is micro-analyzed.It is proved that the thin-film pole separation appears in the boundary plane between Cr-film and Bi12GeO20-Substrate.This boundary connection is a simple weak adhesion and the Cr-film is forced intensely by a kind of internal-stress.As a result, the thin-film pole separates from the substrate.
- electron probe micro-analysis /
- thin-film pole /
- substrate /
- adhesive-force /
- internal-stress /
- separate

[1]	黄春跃, 赵胜军, 梁颖, 匡兵, 唐香琼. CSP焊点焊后残余应力分析与预测 . 电子科技大学学报, 2021, 50(1): 148-154. doi: 10.12178/1001-0548.2019114
[2]	王力, 蒋庭君, 石文韬, 宋轶琳, 徐声伟, 蔡新霞. 聚吡咯氧化石墨烯修饰的神经微电极阵列 . 电子科技大学学报, 2015, 44(4): 623-626. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.04.025
[3]	陈淑仙, 田鹤, 秦文峰, 李梦, 杨文锋, 唐庆如. 树脂基复合材料固化过程中的温度和热应力场三维瞬态分析 . 电子科技大学学报, 2014, 43(4): 547-551. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.04.013
[4]	塔利克·吉纳菲, 吴柯. 基片集成波导技术:最新的发展和未来的展望 . 电子科技大学学报, 2013, 42(2): 171-192. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.02.002
[5]	徐洁, 李青, 林慧, 王洪. MoO₃源漏电极缓冲层对有机薄膜晶体管性能的影响 . 电子科技大学学报, 2012, 41(6): 941-943. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.06.024
[6]	魏昭荣, 杨定宇, 朱兴华, 杨维清. 电子束蒸发法制备MoO₃薄膜及其性质研究 . 电子科技大学学报, 2011, 40(6): 933-936. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.06.024
[7]	唐斌, 邓宏, 张强, 税正伟. 基片表面朝向对ZnO纳米线生长机理的影响 . 电子科技大学学报, 2009, 38(1): 134-136.
[8]	张世峰, 张绍德. 电弧炉电极系统双模控制策略研究及应用 . 电子科技大学学报, 2008, 37(1): 145-147.
[9]	黄大贵, 谢明君, 张德银, 董政. LiTaO₃薄膜红外探测器热分析 . 电子科技大学学报, 2008, 37(4): 637-640.
[10]	张德祥, 高清维, 钟维年, 陈军宁. 半连续Ag纳米薄膜显微图像的多重分形谱研究 . 电子科技大学学报, 2007, 36(5): 948-951.
[11]	李志刚, 王宝光, 杜振辉, 蒋诚志, 张丽陶. 激光多普勒信号跟踪微分器的分析与设计 . 电子科技大学学报, 2004, 33(4): 453-456.
[12]	胡涛, 王守绪, 郑重德. PEMFC膜电极制作工艺的研究 . 电子科技大学学报, 2000, 29(5): 564-567.
[13]	何为, 胡文成, 唐先忠, 迟兰洲. 在汞电极上电还原糖得到相应多元醇的研究 . 电子科技大学学报, 1999, 28(3): 324-328.
[14]	阮成礼. 有限尺寸介质基片上的共面带线 . 电子科技大学学报, 1999, 28(4): 366-370.
[15]	阮世池. RY-2W-15kΩ电阻器失效机理电子显微分析 . 电子科技大学学报, 1999, 28(1): 103-107.
[16]	何进, 杨传仁. AIN基片上重掺杂硼的多晶硅膜电阻率温度特性 . 电子科技大学学报, 1998, 27(1): 47-50.
[17]	杨峰, 聂在平, 阮颖铮. 高分辨率复杂电极系的高效数值模拟 . 电子科技大学学报, 1997, 26(3): 254-257.
[18]	何为. 在液镓电极上反丁烯二腈的电氢化二聚 . 电子科技大学学报, 1997, 26(2): 215-220.
[19]	周鸿仁, 刘秀蓉, 徐蓓娜. 直流磁控溅射铂电阻薄膜 . 电子科技大学学报, 1997, 26(6): 662-665.
[20]	贾宇明, 杨邦朝. Ta/Al合金薄膜TCR的方差分析 . 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 398-401.

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声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

阮世池

1. 电子科技大学材料微观分析中心成都 610054

作者简介:
阮世池男 57岁大学副教授

收稿日期: 1998-03-11
刊出日期: 1998-12-15

中图分类号: TN16;TN303;TN304.055

关键词:

摘要: 电子探针显微分析法(EPMA)能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点,文中对Au/Cr/Bi12GeO20声表面波器件作了显微分析研究,探明了薄膜电极脱落发生在Cr膜与Bi12GeO20基片的界面上。由于Cr膜与基片间是弱的简单附着机制,并且Cr膜承受着强烈的内应力,最终导致薄膜电极脱落。

English Abstract

阮世池. 声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析[J]. 电子科技大学学报, 1998, 27(6): 605-608.

引用本文:

阮世池. 声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析[J]. 电子科技大学学报, 1998, 27(6): 605-608.

Ruan Shichi. Analysis of Thin-film Pole Separation of SAW Element with EPMA[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1998, 27(6): 605-608.

Citation:

Ruan Shichi. Analysis of Thin-film Pole Separation of SAW Element with EPMA[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 1998, 27(6): 605-608.

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