高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

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高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

周秀云, 张涛, 程玉华

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2009 > 38(3): 451-454

周秀云, 张涛, 程玉华. 高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

引用本文:

周秀云, 张涛, 程玉华. 高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

ZHOU Xiu-yun, ZHANG Tao, CHENG Yu-hua. Study of High Precision and High Measurement Speed Dual-Longitudinal Thermal Frequency Stabilization Laser Interferometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

Citation:

ZHOU Xiu-yun, ZHANG Tao, CHENG Yu-hua. Study of High Precision and High Measurement Speed Dual-Longitudinal Thermal Frequency Stabilization Laser Interferometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

1.
电子科技大学自动化学院成都 610054;
2.
四川大学激光应用技术研究所成都 610065

基金项目:

国家自然科学基金(50275101);四川省科技攻关项目(03SG1230)

作者简介:
周秀云(1974-)，女，博士，主要从事光电测试方面的研究.

中图分类号: TH744.3

Study of High Precision and High Measurement Speed Dual-Longitudinal Thermal Frequency Stabilization Laser Interferometer

1.
School of Automation Engineering,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054;
2.
Institute of Applied Laser,Sichuan University Chengdu 610065

摘要: 现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1 000 mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206 mm、频差约728 MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源，外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路，构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证，其精度达到0.1 μm /800 mm。实验证明，该干涉仪可以对速度为1 000 mm/s的运动物体进行位移和速度测量。
- 双频激光干涉仪 /
- 频差 /
- 高精度高测速 /
- 热稳频激光器
Abstract: The moving speed of the numerical control machine tool and the three-COMERO has reached 1 000 mm/s. However, the present measurement speed of the commercial heterodyne interferometer can not meet the requirement of measuring the moving speed. A High precision and high measurement speed dual-longitudinal thermal frequency stabilization laser interferometer is presented. This interferometer uses a laser of 206 mm-long and beat-frequency 728 MHz and a high frequency oscillator of high stability to get AC counter pluses. Experiments are set up to testify the measurement speed and precision of the interferometer. The system's precision is 0.1 μm /800 mm. Results show that this kind of interferometer can be used to measure the displacement of an object whose velocity is 1 000 mm/s.
- dual-frequency laser interferometer /
- frequency difference /
- high precision and high measurement speed /
- thermal frequency stabilization laser

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[2]	熊瑾煜, 杨宇翔, 夏畅雄, 陈鲸. 低轨双星定位中雷达信号时频差快速估计算法 . 电子科技大学学报, 2015, 44(3): 326-332. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.03.002
[3]	孙跃, 吴静, 王智慧, 唐春森. ICPT系统基于电容阵列的稳频控制策略 . 电子科技大学学报, 2014, 43(1): 54-59. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.01.009
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高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

1. 电子科技大学自动化学院成都 610054;

2. 四川大学激光应用技术研究所成都 610065

基金项目:

国家自然科学基金(50275101);四川省科技攻关项目(03SG1230)

作者简介:
周秀云(1974-)，女，博士，主要从事光电测试方面的研究.

收稿日期: 2008-11-05
修回日期: 2009-01-17
刊出日期: 2009-06-15

中图分类号: TH744.3

关键词:

摘要: 现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1 000 mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206 mm、频差约728 MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源，外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路，构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证，其精度达到0.1 μm /800 mm。实验证明，该干涉仪可以对速度为1 000 mm/s的运动物体进行位移和速度测量。

English Abstract

周秀云, 张涛, 程玉华. 高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

引用本文:

周秀云, 张涛, 程玉华. 高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

ZHOU Xiu-yun, ZHANG Tao, CHENG Yu-hua. Study of High Precision and High Measurement Speed Dual-Longitudinal Thermal Frequency Stabilization Laser Interferometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

Citation:

ZHOU Xiu-yun, ZHANG Tao, CHENG Yu-hua. Study of High Precision and High Measurement Speed Dual-Longitudinal Thermal Frequency Stabilization Laser Interferometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(3): 451-454. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.03.032

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