MEMS微型气体富集器的研究进展

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MEMS微型气体富集器的研究进展

杜晓松, 肖华, 蒋亚东

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2009 > 38(5): 597-602

杜晓松, 肖华, 蒋亚东. MEMS微型气体富集器的研究进展[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

引用本文:

杜晓松, 肖华, 蒋亚东. MEMS微型气体富集器的研究进展[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

DU Xiao-song, XIAO Hua, JIANG Ya-dong. Development of MEMS Gas-Phase Preconcentrators[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

Citation:

DU Xiao-song, XIAO Hua, JIANG Ya-dong. Development of MEMS Gas-Phase Preconcentrators[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

MEMS微型气体富集器的研究进展

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

1.
电子科技大学光电信息学院电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金(60736005,60871050)

作者简介:
杜晓松(1969-)，男，博士，教授，主要从事气体传感器方面的研究

中图分类号: O652.6

Development of MEMS Gas-Phase Preconcentrators

1.
School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054

摘要: 气体富集器是为了改善分析仪器的探测极限而设置在探头之前的一个采样和富集装置,采用MEMS技术制作的微型气体富集器与传统的富集器相比,由于热容量小,因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率,从而显著地提高富集效率。该文对MEMS微型气体富集器的研究现状进行了综述,重点从吸附面积、气流大小、温升快慢、流场设计等方面对富集器的各种结构进行了综合分析比较,并介绍了相控加热以及微阀集成两种技术提高富集率的基本原理。
- 富集率 /
- 气体传感器 /
- 微机电系统 /
- 富集器
Abstract: The preconcentrator is a front-end sampling and concentrating device that can significantly improves the detection limit of a microanalytical system. The micromachined preconcentrators with reduced thermal mass can raise the temperature much faster at lower power compared with the conventional desorption tubes, thus realizing a much higher concentration factor. In this paper, the state-of-the-art of the microfabricated preconcentrators are systematically summarized, with especial emphasise on the structure of the micro-preconcentrators from the point of view of adsorption area, gas flux, temperature rising, fluid channel design, and so on. The principles of phased heater array and preconcentrator with integrated micro-valves are also introduced.
- concentrator factor /
- gas sensor /
- microelectromechanical system /
- preconcentrator

[1]	常淑俊, 孙佳伟. 微机电硅谐振器动态建模及同步控制 . 电子科技大学学报, 2023, 52(3): 475-480. doi: 10.12178/1001-0548.2022371
[2]	邢文革, 桂佑林, 顾万里. 多传感器系统误差特性匹配的动态估计与补偿算法 . 电子科技大学学报, 2021, 50(2): 186-192. doi: 10.12178/1001-0548.2020117
[3]	刘潇, 岳超, 邹昱, 张容. 基于光电传感器的追踪系统控制策略改进 . 电子科技大学学报, 2019, 48(3): 340-344. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2019.03.005
[4]	谢光忠, 王斯, 谢法彪, 苏元捷. 自供能气体传感器研究进展 . 电子科技大学学报, 2018, 47(1): 139-146. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2018.01.021
[5]	刘林仙, 张文栋, 白建云, 张国军, 薛南. 基于MEMS仿生矢量水听器的测距避障声纳系统设计 . 电子科技大学学报, 2016, 45(1): 155-160. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.01.027
[6]	谢光忠, 吴寸雪, 蒋亚东, 太惠玲, 苏元捷, 杜晓松. 有机薄膜晶体管气体传感器的研究进展 . 电子科技大学学报, 2016, 45(4): 664-673. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.04.019
[7]	陈立伟, 杨建华, 孙亮, SHI Mi-mi. 基于分布式传感器阵列的静态气体源定位方法 . 电子科技大学学报, 2014, 43(2): 212-215.
[8]	于振华, 付晓, 王静, 胡正良, 刘宇. 基于声学无线传感器网络的目标跟踪系统研究 . 电子科技大学学报, 2011, 40(4): 568-572. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.04.019
[9]	荣健, 乔文钊. 基于模糊神经系统的多传感器数据融合算法 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 376-378,424.
[10]	谢光忠, 赵明静, 蒋亚东, 太惠玲. 聚吡咯薄膜的制备及其氨气敏感特性的研究 . 电子科技大学学报, 2008, 37(2): 289-292.
[11]	蒋亚东, 陈璇, 太惠玲, 谢光忠, 杜晓松. 掺杂剂对聚苯胺/二氧化钛复合薄膜氨敏特性的影响 . 电子科技大学学报, 2008, 37(5): 773-776.
[12]	刘晓明, 王录涛. MEMS加速度传感器的引信数据采集系统设计 . 电子科技大学学报, 2008, 37(2): 309-312.
[13]	朱应敏, 贾建援, 樊康旗. MEMS器件平板运动空气阻尼研究 . 电子科技大学学报, 2007, 36(5): 965-968.
[14]	王勉, 谢光忠, 太惠玲, 蒋亚东. PEDT导电聚合物气敏特性研究 . 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 666-669.
[15]	卢凉, 杜平安, 秦东兴, 阎威. MEMS器件缩减模型建模方法研究 . 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 841-843.
[16]	邓琼, 刘晓明, 邓斌. 基于MEMS的自适应钻地引信系统设计 . 电子科技大学学报, 2006, 35(6): 932-935.
[17]	曲大成, 高世桥, 刘玉树. 分布式微机电系统的多主体控制 . 电子科技大学学报, 2006, 35(3): 367-370.
[18]	李尚俊, 刘永智. 高灵敏度、高分辨率分布式光纤应力传感器研究 . 电子科技大学学报, 2000, 29(4): 373-376.
[19]	王光泰, 周先敏, 徐继麟. 多传感器信息最优融合 . 电子科技大学学报, 1997, 26(5): 465-467.
[20]	陈金岭, 王保强, 杨秀丽. 多传感器系统的灵敏度、选择性与精度 . 电子科技大学学报, 1997, 26(3): 318-323.

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MEMS微型气体富集器的研究进展

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

1. 电子科技大学光电信息学院电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金(60736005,60871050)

作者简介:
杜晓松(1969-)，男，博士，教授，主要从事气体传感器方面的研究

收稿日期: 2009-04-22
刊出日期: 2009-10-15

中图分类号: O652.6

关键词:

摘要: 气体富集器是为了改善分析仪器的探测极限而设置在探头之前的一个采样和富集装置,采用MEMS技术制作的微型气体富集器与传统的富集器相比,由于热容量小,因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率,从而显著地提高富集效率。该文对MEMS微型气体富集器的研究现状进行了综述,重点从吸附面积、气流大小、温升快慢、流场设计等方面对富集器的各种结构进行了综合分析比较,并介绍了相控加热以及微阀集成两种技术提高富集率的基本原理。

English Abstract

杜晓松, 肖华, 蒋亚东. MEMS微型气体富集器的研究进展[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

引用本文:

杜晓松, 肖华, 蒋亚东. MEMS微型气体富集器的研究进展[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

DU Xiao-song, XIAO Hua, JIANG Ya-dong. Development of MEMS Gas-Phase Preconcentrators[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

Citation:

DU Xiao-song, XIAO Hua, JIANG Ya-dong. Development of MEMS Gas-Phase Preconcentrators[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 597-602. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.015

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