喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

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喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

李波, 安建欣, 徐利梅

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2010 > 39(3): 461-465

李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用[J]. 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

引用本文:

李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用[J]. 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

LI Bo, AN Jian-xin, XU Li-mei. Film Thickness Model and Application of Protective Coating[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

Citation:

LI Bo, AN Jian-xin, XU Li-mei. Film Thickness Model and Application of Protective Coating[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

1.
电子科技大学空天科学技术研究院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金(70701007);四川省青年基金(09ZQ026-054)

作者简介:
李波(1975-)，男，博士，副教授，主要从事生产过程控制、复杂系统集成与自动化、装备故障诊断与维修等方面的研究.

中图分类号: TH162

Film Thickness Model and Application of Protective Coating

1.
Institute of Astronautics & Aeronautics,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054

摘要: 为研究12寸晶圆切割过程中喷涂工艺设备参数对保护性薄膜厚度的影响，提高设备调整效率和工艺质量，采用均匀设计的实验方法，以薄膜在测试量块上的厚度为目标，对影响厚度的主要因素：涂料压力、微调阀和雾化压力进行研究。对实验数据采用SPSS进行非线性逐步回归得到了薄膜厚度的数学模型，揭示了各因素的交互关系，为测机调整提供数据依据，节省大量反复测机时间，在保证工艺质量的同时提高了喷涂设备的生产效率。该模型已成功运用于某芯片封装测试厂的喷涂设备，并取得了显著效果。
- 数学模型 /
- 生产率 /
- 保护性喷涂 /
- 回归分析 /
- 均匀设计
Abstract: Parameters of coating machine make a great impact on the thickness of the protective coating in the sawing process of the 12 inch wafer. To improve the productivity and process quality, the uniform design was used to study thickness of the film relating to the factor of scale of micrometer valve, flux pressure, and atomizing pressure. A significant mathematical model was obtained by using SPSS based on the non-linear regression analysis of experimental data, and it reveals the interactive relationship between the factors and provides a basis for machine adjustment. This model has been successfully applied to an chipset assembly/test (A/T) factory and the adjustment time has been significant reduced.
- mathematical models /
- productivity /
- protective coating /
- regression analysis /
- uniform design

[1]	张仕斌, 黄晨猗, 李晓瑜, 郑方聪, 李闯, 刘兆林, 杨咏熹. 量子模糊信息管理数学模型研究 . 电子科技大学学报, 2024, 53(2): 284-290. doi: 10.12178/1001-0548.2022355
[2]	汪剑眉, 李钢. 新冠肺炎非均匀感染力传播模型与干预分析 . 电子科技大学学报, 2020, 49(3): 392-398. doi: 10.12178/1001-0548.2020158
[3]	支萌辉, 汤亮, 茅胜荣, 赵琳, 季磊, 鞠青云, 乔东海. 微型磁通门传感器的激励仿真设计 . 电子科技大学学报, 2017, 46(5): 795-799. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.05.024
[4]	汪方斌, 洪津, 孙晓兵, 宋茂新, 孙斌, 王羿. 航空多角度偏振辐射计信噪比不确定性数学模型 . 电子科技大学学报, 2014, 43(6): 869-873. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.06.013
[5]	吴吉祥, 夏靖波, 李路, 魏伟. QoS容忍下QoE的Logistic回归评估模型 . 电子科技大学学报, 2013, 42(4): 581-585. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.04.010
[6]	谢开贵, 曹侃, 欧阳稳, 万勇建, 陈民铀. 应力盘面形变化量与驱动器策动力间的多元统计模型 . 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 626-630,636. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.029
[7]	李波, 吴志明, 王强. 多产品半柔性并联生产线预防性维修调度模型研究 . 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 791-795. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.030
[8]	杨宏宇, 谢丽霞, 朱丹. 漏洞严重性的灰色层次分析评估模型 . 电子科技大学学报, 2010, 39(5): 778-782,799. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.05.027
[9]	曹宇, 赵杰, 程远志, 闫继宏. MRI中髋关节股头软骨的厚度测量方法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(4): 626-630. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.04.035
[10]	覃仁超, 李涛, 张瑜. 基于免疫原理的控制器参数整定方法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(4): 609-612. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.04.031
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[12]	佟国香, 姜书艳, 罗刚. CSTN-LCD驱动算法模型及硬件实现 . 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 759-762.
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喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

1. 电子科技大学空天科学技术研究院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金(70701007);四川省青年基金(09ZQ026-054)

作者简介:
李波(1975-)，男，博士，副教授，主要从事生产过程控制、复杂系统集成与自动化、装备故障诊断与维修等方面的研究.

收稿日期: 2009-05-05
修回日期: 2009-07-10
刊出日期: 2010-06-15

中图分类号: TH162

关键词:

摘要: 为研究12寸晶圆切割过程中喷涂工艺设备参数对保护性薄膜厚度的影响，提高设备调整效率和工艺质量，采用均匀设计的实验方法，以薄膜在测试量块上的厚度为目标，对影响厚度的主要因素：涂料压力、微调阀和雾化压力进行研究。对实验数据采用SPSS进行非线性逐步回归得到了薄膜厚度的数学模型，揭示了各因素的交互关系，为测机调整提供数据依据，节省大量反复测机时间，在保证工艺质量的同时提高了喷涂设备的生产效率。该模型已成功运用于某芯片封装测试厂的喷涂设备，并取得了显著效果。

English Abstract

李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用[J]. 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

引用本文:

李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用[J]. 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

LI Bo, AN Jian-xin, XU Li-mei. Film Thickness Model and Application of Protective Coating[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

Citation:

LI Bo, AN Jian-xin, XU Li-mei. Film Thickness Model and Application of Protective Coating[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

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