MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计

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MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计

廖小丽, 刘华, 张凯, 王正荣

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廖小丽, 刘华, 张凯, 王正荣. MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计[J]. 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

引用本文:

廖小丽, 刘华, 张凯, 王正荣. MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计[J]. 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

LIAO Xiao-li, LIU Hua, ZHANG Kai, WANG Zheng-rong. Simulation and Design of Cylindrical Resonant Cavity for MPCVD[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

Citation:

LIAO Xiao-li, LIU Hua, ZHANG Kai, WANG Zheng-rong. Simulation and Design of Cylindrical Resonant Cavity for MPCVD[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

1.
四川大学华西基础医学与法医学院成都 610041;
2.
电子科技大学生命科学与技术学院成都 610054

基金项目:

国家863计划(2008AA01Z206);中央高校基本科研业务费项目(E022050205,ZYGX2010J043)

作者简介:
廖小丽(1972?)，女，博士，主要从事微波检测及其生物效应方面的研究

中图分类号: TN62

Simulation and Design of Cylindrical Resonant Cavity for MPCVD

1.
School of Preclinical and Forensic Medicine,Sichuan University Chengdu 610041;
2.
School of Life Science and Technology,University of Electrnic Science and Technology of China Chengdu 610054

摘要: 根据电磁场理论设计了用于微波等离子体化学气相沉积系统的TE11模圆柱谐振腔，推导了该谐振腔的电场分布，计算了圆柱腔的几何尺寸。利用电磁场仿真软件CST对圆柱腔内的电场分布进行仿真，比较分析了不同天线耦合深度以及不同石英窗厚度对电场分布的影响。仿真优化结果表明天线耦合深度为5 mm、石英窗厚度为5 mm时腔内微波耦合良好，能够满足工业要求。实践加工证明仿真结果与真实系统实际工作状态吻合，为圆柱谐振腔微波等离子装置的研制提供了理论指导，提高了研制效率，节约了研制成本。
- 化学气相沉积 /
- 微波等离子体 /
- 谐振腔 /
- 仿真
Abstract: A cylindrical resonant cavity working on TE11 mode for microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) systems is designed on the basis of electromagnetic theory. The expression of the electric field distribution in the cylindrical cavity is derived and the geometrical size of the cylindrical cavity is calculated. The electric field distribution in the cylindrical cavity is simulated by using the electromagnetic software CST. The difference of electric field distribution from different coupling depth of antenna and thickness of quartz window is compared. Through the optimized simulation results, it is proved that the microwave power has a good coupling when the coupling depth of antenna and the thickness of quartz glass are both 5mm, and it can satisfy the requirement of industry. After practical processing, the simulation results shows good agreement the actual system's working condition. plasma chemical vapor deposition system, promote the development.
- chemical vapor deposition /
- microwave plasma /
- resonant cavity /
- simulation

[1]	邹云鹏, 李永泽, 康雁. 二维相位对比核磁共振成像的仿真研究 . 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 956-960. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.028
[2]	黄韬, 陈长胜. TTE时间同步协议关键算法研究和仿真分析 . 电子科技大学学报, 2014, 43(3): 437-442. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2014.03.021
[3]	汤志伟, 殷静. 基于扩展Petri网的仿真建模与分析 . 电子科技大学学报, 2012, 41(1): 131-135. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.01.025
[4]	于景侠, 贺少勃, 向霞, 袁晓东, 郑万国, 郭袁俊, 祖小涛. 激光辐照熔石英控制的ANSYS仿真 . 电子科技大学学报, 2012, 41(6): 870-874. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.06.010
[5]	黄智勇, 曾孝平, 周建林, 石幸利. 利用接触跟踪机制实现Email蠕虫的检测 . 电子科技大学学报, 2011, 40(3): 435-439. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.03.021
[6]	孟珺遐, 王渝, 王西彬. 高精度电液系统的模糊滑模控制仿真研究 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 392-396. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.015
[7]	江洪波, 黄盈. 基于功能虚拟原型的验证方法 . 电子科技大学学报, 2008, 37(2): 258-261.
[8]	武畅, 李玉柏, 彭启琮, 柴松, 杨中明. 可设置仲裁优先程度的NOC路由节点设计 . 电子科技大学学报, 2008, 37(5): 645-648.
[9]	孙淼, 姚列明, 霍中生, 严一民. 电脑机箱散热性能优化问题的研究 . 电子科技大学学报, 2007, 36(1): 75-76,115.
[10]	吴春江, 周世杰, 肖春静, 吴跃. BitTorrent网络中的P2P蠕虫传播仿真分析 . 电子科技大学学报, 2007, 36(6): 1206-1210.
[11]	黄洁, 杜平安, 廖伟智. 切削加工过程的仿真方法研究与实现 . 电子科技大学学报, 2007, 36(2): 298-301.
[12]	陈林林, 孙仁云, 吴本成, 蔡建余, 张易红. 天然气发动机空燃比控制策略的研究与仿真 . 电子科技大学学报, 2007, 36(2): 294-297.
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[20]	吴坚强. 开放式等离子体微波反应腔的研究 . 电子科技大学学报, 1997, 26(5): 525-528.

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MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

1. 四川大学华西基础医学与法医学院成都 610041;

2. 电子科技大学生命科学与技术学院成都 610054

基金项目:

国家863计划(2008AA01Z206);中央高校基本科研业务费项目(E022050205,ZYGX2010J043)

作者简介:
廖小丽(1972?)，女，博士，主要从事微波检测及其生物效应方面的研究

收稿日期: 2011-05-23
修回日期: 2011-07-06
刊出日期: 2011-10-15

中图分类号: TN62

关键词:

摘要: 根据电磁场理论设计了用于微波等离子体化学气相沉积系统的TE11模圆柱谐振腔，推导了该谐振腔的电场分布，计算了圆柱腔的几何尺寸。利用电磁场仿真软件CST对圆柱腔内的电场分布进行仿真，比较分析了不同天线耦合深度以及不同石英窗厚度对电场分布的影响。仿真优化结果表明天线耦合深度为5 mm、石英窗厚度为5 mm时腔内微波耦合良好，能够满足工业要求。实践加工证明仿真结果与真实系统实际工作状态吻合，为圆柱谐振腔微波等离子装置的研制提供了理论指导，提高了研制效率，节约了研制成本。

English Abstract

廖小丽, 刘华, 张凯, 王正荣. MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计[J]. 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

引用本文:

廖小丽, 刘华, 张凯, 王正荣. MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计[J]. 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

LIAO Xiao-li, LIU Hua, ZHANG Kai, WANG Zheng-rong. Simulation and Design of Cylindrical Resonant Cavity for MPCVD[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

Citation:

LIAO Xiao-li, LIU Hua, ZHANG Kai, WANG Zheng-rong. Simulation and Design of Cylindrical Resonant Cavity for MPCVD[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2011, 40(5): 716-719,782. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.016

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