基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

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基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

王巍, 邹龙庆, 徐华, 李搏, 贾培发, 李垒

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王巍, 邹龙庆, 徐华, 李搏, 贾培发, 李垒. 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计[J]. 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

引用本文:

王巍, 邹龙庆, 徐华, 李搏, 贾培发, 李垒. 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计[J]. 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

WANG Wei, ZOU Long-qing, XU Hua, LI Bo, JIA Pei-fa, LI Lei. Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

Citation:

WANG Wei, ZOU Long-qing, XU Hua, LI Bo, JIA Pei-fa, LI Lei. Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

王巍^1,2,
邹龙庆^1,2,
徐华²,
李搏^1,2,
贾培发²,
李垒^1,2

1.
重庆邮电大学光电工程学院重庆南岸区 400065;
2.
清华大学清华信息科学与技术国家实验室,清华大学智能技术及系统国家重点实验室,清华大学计算机科学与技术系北京海淀区 100084

基金项目:

02号国家科技重大专项(2009ZX02001-003);国家自然科学基金(60875073)

作者简介:
王巍(1967-),男,博士,教授,主要从事RFIC及微波集成电路设计方面的研究.

中图分类号: TN305;TP39

Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard

WANG Wei^1,2,
ZOU Long-qing^1,2,
XU Hua²,
LI Bo^1,2,
JIA Pei-fa²,
LI Lei^1,2

1.
College of Electronics Engineering,Chongqing University of Posts and Telecommunications Nan'an Chongqing 400065;
2.
State Key Laboratory of Intelligent Technology and Systems,Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology,Department of Computer Science and Technology,Tsinghua University Haidian Beijing 100084

摘要: 设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。
- 功能仿真 /
- 物理气相沉积系统 /
- 半导体工艺设备 /
- SEMI标准
Abstract: A general and configurable simulation platform based on SEMI standard is designed. On this general platform, a gas pressure subsystem simulation platform is implemented, which has the function layer, logic layer and communication interface layer. This system can meet the needs of both a single device and a whole system. Results show that the operation of the valve and the change of the gas flow in physical vapor deposition (PVD) system can be simulated in real time.
- device function simulation /
- physical vapor deposition (PVD) system /
- semiconductor manufacturing equipment /
- SEMI standard

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[2]	吴春江, 周世杰, 陈鹏飞. 面向多用户的微观交通仿真实验系统设计 . 电子科技大学学报, 2021, 50(4): 544-550. doi: 10.12178/1001-0548.2020446
[3]	周守利, 张景乐, 吴建敏, 郑骎, 王志宇. X波段宽带幅相多功能芯片设计 . 电子科技大学学报, 2020, 49(5): 680-689. doi: 10.12178/1001-0548.2019263
[4]	饶云江, 苌亮, 贾新鸿, 张超. 基于拉曼放大和半导体光放大的BOTDA . 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 621-625. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.028
[5]	郑济均, 林竞力, 朱维乐. 基于T-MMB标准的OFDM信道均衡技术 . 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 682-685,696. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.009
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[7]	孟珺遐, 王渝, 王西彬. 高精度电液系统的模糊滑模控制仿真研究 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 392-396. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.015
[8]	张向前, 聂在平. 运动导体平面电磁散射的FDTD仿真 . 电子科技大学学报, 2010, 39(2): 176-181,175. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.02.005
[9]	张波, 邓小川, 陈万军, 李肇基. 宽禁带功率半导体器件技术 . 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 618-623. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.018
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基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

1. 重庆邮电大学光电工程学院重庆南岸区 400065;

2. 清华大学清华信息科学与技术国家实验室,清华大学智能技术及系统国家重点实验室,清华大学计算机科学与技术系北京海淀区 100084

基金项目:

02号国家科技重大专项(2009ZX02001-003);国家自然科学基金(60875073)

作者简介:
王巍(1967-),男,博士,教授,主要从事RFIC及微波集成电路设计方面的研究.

收稿日期: 2011-06-10
修回日期: 2012-04-18
刊出日期: 2012-08-15

中图分类号: TN305;TP39

关键词:

摘要: 设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。

English Abstract

王巍, 邹龙庆, 徐华, 李搏, 贾培发, 李垒. 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计[J]. 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

引用本文:

王巍, 邹龙庆, 徐华, 李搏, 贾培发, 李垒. 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计[J]. 电子科技大学学报, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

WANG Wei, ZOU Long-qing, XU Hua, LI Bo, JIA Pei-fa, LI Lei. Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

Citation:

WANG Wei, ZOU Long-qing, XU Hua, LI Bo, JIA Pei-fa, LI Lei. Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2012, 41(4): 599-604. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024

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