AlN/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究

余毅; 梁晓琴; 黄平; 冯玉芳; 杨春

doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

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AlN/Al₂O₃(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究

余毅, 梁晓琴, 黄平, 冯玉芳, 杨春

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余毅, 梁晓琴, 黄平, 冯玉芳, 杨春. AlN/Al2O3(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究[J]. 电子科技大学学报, 2013, 42(5): 784-786. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

引用本文:

余毅, 梁晓琴, 黄平, 冯玉芳, 杨春. AlN/Al₂O₃(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究[J]. 电子科技大学学报, 2013, 42(5): 784-786. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

YU Yi, LIANG Xiao-qin, HUANG Ping, FENG Yu-fang, YANG Chun. Study of the Structure of the Surface and Interface of the Growth and Absorption of AlN/Al2O3(0001) Film[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2013, 42(5): 784-786. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

Citation:

YU Yi, LIANG Xiao-qin, HUANG Ping, FENG Yu-fang, YANG Chun. Study of the Structure of the Surface and Interface of the Growth and Absorption of AlN/Al₂O₃(0001) Film[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2013, 42(5): 784-786. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

AlN/Al₂O₃(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

余毅¹,
梁晓琴¹,
黄平²,
冯玉芳¹,
杨春^1,3

1.
四川师范大学化学与材料科学学院成都 610066;
2.
四川师范大学物理电子工程学院成都 610066;
3.
四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室成都 610066

基金项目:

国家自然科学基金(50942025,51172150)

详细信息

作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

中图分类号: O647;O793

Study of the Structure of the Surface and Interface of the Growth and Absorption of AlN/Al₂O₃(0001) Film

1.
College of Chemistry and Materials,Sichuan Normal University Chendu 610066;
2.
College of Physics and Electronic Engineering,Sichuan Normal University Chendu 610066;
3.
Visual Computing and Virtual Reality Key Laboratory of Sichuan,Sichuan Normal University Chendu 610066

摘要: 针对氮化铝异质薄膜的制备,构建了两种AlN/Al2O3(0001)材料生长模型,采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了模拟计算。分析了AlN在表面的吸附位置及其表面界面结构,发现AlN相对具有氧六角对称结构的最近邻的表面Al—O键发生了30°的偏转,稳定的化学吸附消除了吸附前表面Al—O层的驰豫,从而有利于AlN薄膜的铅锌矿结构的形成。
- AlN/Al2O3薄膜 /
- 计算机模拟 /
- 吸附生长 /
- 表面界面
Abstract: In view of the AlN thin films preparation, two AlN/Al2O3(0001) growth models have been built. With the plane wave ultrasoft pseudo-potential method based on the density functional theory, the analog computation of the AlN surface absorption of α-Al2O3(0001) has been made. The analysis of the AlN surface absorption site and the structures of surface and interface finds that a 30° angle of deflection exists between AlN and the nearest surface. The stability of the chemical absorption eliminates the relaxation surface absorption of Al-O film and therefore benefits the formation of the wurtzite structure of AlN film.
- AlN/Al2O3(0001) film /
- computer simulation /
- growth and absorption /
- surface and interface

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[2]	于俊洋, 胡志刚, 周舟, 杨柳. 计算机系统能耗估量模型研究 . 电子科技大学学报, 2015, 44(3): 422-427. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.03.018
[3]	任素婷, 崔雪锋, 樊瑛. 国际贸易网络中的靴襻渗流模型 . 电子科技大学学报, 2015, 44(2): 178-182. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.02.003
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AlN/Al₂O₃(0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

1. 四川师范大学化学与材料科学学院成都 610066;

2. 四川师范大学物理电子工程学院成都 610066;

3. 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室成都 610066

基金项目:

国家自然科学基金(50942025,51172150)

作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

收稿日期: 2013-04-03
修回日期: 2013-06-07
刊出日期: 2013-10-15

中图分类号: O647;O793

关键词:

摘要: 针对氮化铝异质薄膜的制备,构建了两种AlN/Al2O3(0001)材料生长模型,采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了模拟计算。分析了AlN在表面的吸附位置及其表面界面结构,发现AlN相对具有氧六角对称结构的最近邻的表面Al—O键发生了30°的偏转,稳定的化学吸附消除了吸附前表面Al—O层的驰豫,从而有利于AlN薄膜的铅锌矿结构的形成。

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作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

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doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

1. 四川师范大学化学与材料科学学院成都 610066;

2. 四川师范大学物理电子工程学院成都 610066;

3. 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室成都 610066

作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

English Abstract

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1. College of Chemistry and Materials,Sichuan Normal University Chendu 610066;

2. College of Physics and Electronic Engineering,Sichuan Normal University Chendu 610066;

3. Visual Computing and Virtual Reality Key Laboratory of Sichuan,Sichuan Normal University Chendu 610066

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作者简介: 余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

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doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027

1. 四川师范大学化学与材料科学学院 成都 610066; 2. 四川师范大学物理电子工程学院 成都 610066; 3. 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室 成都 610066

作者简介: 余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

English Abstract

Study of the Structure of the Surface and Interface of the Growth and Absorption of AlN/Al2O3(0001) Film

1. College of Chemistry and Materials,Sichuan Normal University Chendu 610066; 2. College of Physics and Electronic Engineering,Sichuan Normal University Chendu 610066; 3. Visual Computing and Virtual Reality Key Laboratory of Sichuan,Sichuan Normal University Chendu 610066

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作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

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1. 四川师范大学化学与材料科学学院成都 610066;

2. 四川师范大学物理电子工程学院成都 610066;

3. 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室成都 610066

作者简介:
余毅(1973-),女,副编审,主要从事材料化学、材料设计与计算方面的研究.

Study of the Structure of the Surface and Interface of the Growth and Absorption of AlN/Al₂O₃(0001) Film

1. College of Chemistry and Materials,Sichuan Normal University Chendu 610066;

2. College of Physics and Electronic Engineering,Sichuan Normal University Chendu 610066;

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