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计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

邓浩,  陈树强,  马磊

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邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
引用本文: 邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
Citation: DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
详细信息

  • 中图分类号: O436.1

Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings

  • 摘要: 通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合,实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下,如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右,SAM更高效;对于示例结构,相对于RCWA,SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。
  • [1] 樊叔伟,周庆华,李红. 槽型衍射光栅结构参数优化设计研究[J]. 光学学报,2010, 30(11): 3133-3139. FAN Shu-wei, ZHOU Qing-hua, LI Hong. Research of optimization design of groove diffraction grating profile parameters[J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(11): 3133-3139.
    [2] 周云,申溯,叶燕,等. 带有高折射率介质层的金属光栅偏振器特性的研究[J]. 光学学报,2010, 30(4): 1158-1161. ZHOU Yun, SHEN Su, YE Yan, et al. Research on characteristics of subwavelength metal grating polarizers with a high refractive-index dielectric layer[J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(4): 1158-1161.
    [3] 童凯,曾文智,谷朝聪,等. 覆层介质对光子晶体生物传感器灵敏度的影响[J]. 中国激光,2013, 40(2): 0214002-1-6. TONG Kai, ZENG Wen-zhi, GU Chao-cong, et al. Effects of coating on sensitivity of photonic crystal biosensor[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(2): 0214002-1-6
    [4] CHALYKH R, PUNDALEVA I, KIM S, et al. Simulation of critical dimension and profile metrology based on scatterometry method[C]//Proceeding SPIE 6349, Photomask Technology 2006. Bellingham: SPIE, 2006.
    [5] MOHARAM M G, GAYLORD T K. Rigorous coupled-wave analysis of planar-grating diffraction[J]. J Opt Soc Am, 1981, 71(7): 811-818.
    [6] MOHARAM M G, POMMET D A, GRANN E B, et al. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: Enhanced transmittance matrix approach[J]. J Opt Soc Am A, 1995, 12(5): 1077-1086.
    [7] LI Li-feng. Formulation and comparison of two recursive matrix algorithms for modeling layered diffraction gratings [J]. J Opt Soc Am A, 1996, 13(5): 1024-1035.
    [8] POPOV E, NEVIERE M. Maxwell equations in Fourier space: Fast-converging formulation for diffraction by arbitrary shaped, periodic, anisotropic media[J]. J Opt Soc Am A, 2001, 18(11): 2886-2894.
    [9] EDEE K, PLUMEY J, GRANET G, et al. Perturbation method for the rigorous coupled wave analysis of grating diffraction[J]. Optics Express, 2010, 18(25): 26274-26284.
    [10] RUMPF R C, TAL A, KUEBLER S M. Rigorous electromagnetic analysis of volumetrically complex media using the slice absorption method[J]. J Opt Soc Am A, 2007, 24(10): 3123-3134.
    [11] MOHARAM M G, GRANN E B, POMMET D A. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings[J]. J Opt Soc Am A, 1995, 12(5): 1068-1076.
    [12] LI Li-feng. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures[J]. J Opt Soc Am A, 1996, 13(9): 1870-1876.
    [13] XIONG Qiang, CHEN Shu-qiang, HU Yan-fang. Efficient computation scheme of grating structure using RCWA and FDFD[C]//Computational Problem-solving(ICCP) 2011 International Conference. New York, USA: IEEE, 2011.
  • [1] 陈柳, 曾成, 褚青如, 张洁, 补世荣, 宁俊松.  利用金属环聚焦的HTS薄膜Rs分布测试法的研究 . 电子科技大学学报, 2017, 46(1): 156-160. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.01.021
    [2] 彭拥军, 邱昆, 武保剑, 纪四潍.  光纤布拉格光栅非线性传输特性的数值仿真 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 378-383. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.010
    [3] 饶云江, 封莎, 冉曾令, 蒋祺.  超长距离光纤布拉格光栅传感系统 . 电子科技大学学报, 2011, 40(5): 703-705,736. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.05.013
    [4] 胡玮, 蒋大钢, 张静, 李晓峰.  无线光通信信道的大气湍流测试及分析 . 电子科技大学学报, 2011, 40(2): 223-226. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.02.013
    [5] 姜书艳, 罗毅, 罗刚, 谢永乐.  电路级栅氧短路故障的动态电流测试分析 . 电子科技大学学报, 2010, 39(1): 61-64. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.01.015
    [6] 周建华, 任国荣, 杨健君, 周晓军.  磁场调谐的啁啾光纤光栅延迟线 . 电子科技大学学报, 2009, 38(1): 152-156.
    [7] 曾成, 罗正祥, 张其劭, 羊恺.  镜像法高温超导薄膜表面电阻测试装置的改进 . 电子科技大学学报, 2009, 38(2): 214-217. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.02.14
    [8] 武保剑.  组合磁光光纤光栅的磁场敏感性分析 . 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 634-638. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.021
    [9] 李平, 廖永波, 阮爱武, 李威, 李文昌.  SoC软硬件协同技术的FPGA芯片测试新方法 . 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 716-720. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.034
    [10] 卢子焱, 唐宗熙, 张彪.  微波电介质材料复介电常数的扫频测量 . 电子科技大学学报, 2007, 36(1): 44-46,69.
    [11] 黄炳华, 黄新民, 张驰.  电子网络振荡与稳定的基波分析法 . 电子科技大学学报, 2006, 35(1): 47-50.
    [12] 傅晓林, 杨志刚, 王兴家.  Multisim在喷油脉冲宽度检测中的应用 . 电子科技大学学报, 2006, 35(1): 43-46.
    [13] 张世富.  用傅里叶变换分析圆孔夫琅和费衍射 . 电子科技大学学报, 2006, 35(6): 939-941.
    [14] 祝俊, 林祖伦, 张义德, 杨健君.  随机扫描到光栅扫描转换系统的研究 . 电子科技大学学报, 2005, 34(6): 782-785.
    [15] 谭丽娟, 陈运.  模逆算法的分析、改进及测试 . 电子科技大学学报, 2004, 33(4): 383-386,394.
    [16] 陈颖, 杨华军, 邱琪, 安晓强.  半导体激光器的衍射准直透镜的优化设计 . 电子科技大学学报, 2003, 32(2): 129-132.
    [17] 师奕兵, 陈光礻禹, 王厚军, Jiann S. Yuan.  一种基于电压比较器衬底噪声的测试方法 . 电子科技大学学报, 2002, 31(1): 35-38.
    [18] 曾成碧, 陈光.  可达树分析法及其在测试中的应用 . 电子科技大学学报, 1999, 28(5): 524-526.
    [19] 黄建文, 李兴伟, 艾西加.  IC-CAD工具中面向学生的软件包 . 电子科技大学学报, 1997, 26(1): 79-83.
    [20] 杨朝斌, 周先敏, 黄香馥.  宽带SAW-IDT衍射分析 . 电子科技大学学报, 1997, 26(3): 244-248.
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-12-15

计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
  • 刊出日期: 2015-12-15

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合,实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下,如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右,SAM更高效;对于示例结构,相对于RCWA,SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。

English Abstract

邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
引用本文: 邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
Citation: DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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