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电容式微加速度计的气膜阻尼分析

王卫东 贾建援 樊康旗 李萌萌

王卫东, 贾建援, 樊康旗, 李萌萌. 电容式微加速度计的气膜阻尼分析[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 221-224.
引用本文: 王卫东, 贾建援, 樊康旗, 李萌萌. 电容式微加速度计的气膜阻尼分析[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 221-224.
WANG Wei-dong, JIA Jian-yuan, FAN Kang-qi, LI Meng-meng. Analysis on Gas Film Damping of Capacitive Micro Accelerometers[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 221-224.
Citation: WANG Wei-dong, JIA Jian-yuan, FAN Kang-qi, LI Meng-meng. Analysis on Gas Film Damping of Capacitive Micro Accelerometers[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 221-224.

电容式微加速度计的气膜阻尼分析

基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(10476019)

详细信息
    作者简介:

    王卫东(1977-),男,博士生,主要从事微电子机械系统中的微流体和微传热学方面的研究.

  • 中图分类号: TH7;O37

Analysis on Gas Film Damping of Capacitive Micro Accelerometers

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出版历程
  • 收稿日期:  2005-02-24
  • 刊出日期:  2006-04-15

电容式微加速度计的气膜阻尼分析

    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(10476019)

    作者简介:

    王卫东(1977-),男,博士生,主要从事微电子机械系统中的微流体和微传热学方面的研究.

  • 中图分类号: TH7;O37

摘要: 针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题,基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程,分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼效应,得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解。研究结果表明,敏感质量块受到的气膜阻尼力不但与尺寸和速度有关,还与固体壁面的材质、表面粗糙度和光洁度等特性有关。通过实例分析给出了三种减小气膜阻尼的方法,指出动量协调系数是影响气膜阻尼(尤其是压膜阻尼)的关键因素之一。

English Abstract

王卫东, 贾建援, 樊康旗, 李萌萌. 电容式微加速度计的气膜阻尼分析[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 221-224.
引用本文: 王卫东, 贾建援, 樊康旗, 李萌萌. 电容式微加速度计的气膜阻尼分析[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 221-224.
WANG Wei-dong, JIA Jian-yuan, FAN Kang-qi, LI Meng-meng. Analysis on Gas Film Damping of Capacitive Micro Accelerometers[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 221-224.
Citation: WANG Wei-dong, JIA Jian-yuan, FAN Kang-qi, LI Meng-meng. Analysis on Gas Film Damping of Capacitive Micro Accelerometers[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(2): 221-224.

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