溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

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溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟

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周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

引用本文:

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

Citation:

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

1.
电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金重大项目(60390073);“973”项目(51210Z09)

作者简介:
周英(1969-),女,硕士生,主要从事材料物理与化学方面的研究.

中图分类号: O649.4

Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method

1.
School of Microelectronics and Solid State Electronics,Univ. of Electron. Sci. & Tech. of China Chengdu 610054

摘要: 采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40~90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV。
- 溶胶-凝胶法 /
- ZnO薄膜 /
- c轴择优取向性 /
- 禁带宽度
Abstract: The ZnO thin films are prepared on glass sheets by sol-gel technology, which are characterized by X-ray diffraction, atomic force microscopy and ultra-violet spectrum. The results indicate that the thin films are c-orientation, highly visible transmittance, homogeneous and dense surface with the crystalline structure of hexagonal wurtizite, the crystalline dimension of 40～90 nm. The crystal size increases with the increasing sol concentration, and the films are highly oriented in (002) direction as the growing of the film layers. The transmittance has a sharp fundamental absorption edge in UV region, the optical band gap is evaluate to be around 3.34 eV.
- sol-gel /
- ZnO thin films /
- c-axis orientation /
- band gap

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[2]	陈柳, 曾成, 褚青如, 张洁, 补世荣, 宁俊松. 利用金属环聚焦的HTS薄膜R_s分布测试法的研究 . 电子科技大学学报, 2017, 46(1): 156-160. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.01.021
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溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜

1. 电子科技大学微电子与固体电子学院成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金重大项目(60390073);“973”项目(51210Z09)

作者简介:
周英(1969-),女,硕士生,主要从事材料物理与化学方面的研究.

收稿日期: 2004-07-02
刊出日期: 2006-10-15

中图分类号: O649.4

关键词:

摘要: 采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40~90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV。

English Abstract

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

引用本文:

周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

Citation:

ZHOU Ying, DENG Hong, LI Yan, CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2006, 35(5): 823-825,828.

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