电容式微机械加速度计系统动态特性研究

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电容式微机械加速度计系统动态特性研究

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝

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陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

引用本文:

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

Citation:

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

电容式微机械加速度计系统动态特性研究

1.
中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳 621900;
2.
电子科技大学成都 610054

基金项目:

国家"九五"重点科研基金资助项目

作者简介:
陈宇晓男 30岁硕士生

中图分类号: V241.45

Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer

1.
Institute of Electronic Engineering,CAEP Mianyang 621900;
2.
UEST of China Chengdu 610054

摘要: 建立了电容式微机械加速度计闭环系统的二阶近似模型,分析了伺服电路增益和带宽对闭环系统动态特性的影响,提出了调节伺服电路参数来补偿系统动态性能的方法,给出了不同输入条件下系统初始启动稳定时间和输出误差的计算方法。
- 微机械加速度计 /
- 闭环模型 /
- 动态特性 /
- 补偿方法 /
- 系统响应
Abstract: The second-order proximate model on closed-loop system of Micromachined Capacitive Accelerometer is set up. Influence of the gain and bandwidth of servo-circuit on the dynamic behavior of closed-loop system is analyzed. The method to compensate dynamic performance of servo-system by adjusting the parameters of servo-circuit is put forward. The computational methods of start-up response time and output error of servo-system are given in different inputs.
- micromachined accelerometer /
- closed-loop model /
- dynamic behavior /
- compensatory method /
- response of system

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电容式微机械加速度计系统动态特性研究

1. 中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳 621900;

2. 电子科技大学成都 610054

基金项目:

国家"九五"重点科研基金资助项目

作者简介:
陈宇晓男 30岁硕士生

收稿日期: 2002-06-28
刊出日期: 2002-10-15

中图分类号: V241.45

关键词:

摘要: 建立了电容式微机械加速度计闭环系统的二阶近似模型,分析了伺服电路增益和带宽对闭环系统动态特性的影响,提出了调节伺服电路参数来补偿系统动态性能的方法,给出了不同输入条件下系统初始启动稳定时间和输出误差的计算方法。

English Abstract

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

引用本文:

陈宇晓, 文贵印, 刘昌孝. 电容式微机械加速度计系统动态特性研究[J]. 电子科技大学学报, 2002, 31(5): 497-501.

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

Citation:

Chen Yuxiao, Wen Guiyin, Liu Changxiao. Research on Dynamic Behavior of Micromachined Capacitive Accelerometer[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2002, 31(5): 497-501.

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