TMAH在压力传感器制作中的应用

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TMAH在压力传感器制作中的应用

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如

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刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

引用本文:

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

Citation:

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

TMAH在压力传感器制作中的应用

1.
天津大学电子信息工程学院天津 300072

基金项目:

国家自然科学基金资助项目,基金号:69876027

作者简介:
刘洪男 24岁硕士生

中图分类号: TN379

Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor

1.
School of Electronic Information and Engineering,Tianjin University Tianjin 300072

摘要: 介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。
- 四甲基氢氧化铵 /
- 终止腐蚀 /
- 高温压力传感器 /
- 各向异性腐蚀 /
- 硅杯
Abstract: In this paper, etching characteristics of TMAH solutions is introduced. Application of TMAH solutions which is used as etchant in boron etch-stop and anisotropic etching process in the manufacturing of single-crystal and polysilicon pressure sensors is mainly discussed. Satisying process condition and experimental results are obtained through experiments.
- TMAH /
- etch-stop /
- high-temperature pressure sensor /
- anisotropic etching /
- silicon cup

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TMAH在压力传感器制作中的应用

1. 天津大学电子信息工程学院天津 300072

基金项目:

国家自然科学基金资助项目,基金号:69876027

作者简介:
刘洪男 24岁硕士生

收稿日期: 2000-01-19
刊出日期: 2000-12-15

中图分类号: TN379

关键词:

摘要: 介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。

English Abstract

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

引用本文:

刘洪, 姚素英, 曲宏伟, 张生才, 张维新, 毛赣如. TMAH在压力传感器制作中的应用[J]. 电子科技大学学报, 2000, 29(6): 609-612.

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

Citation:

Liu Hong, Yao Suying, Qu Hongwei, Zhang Shengcai, Zhang Weixin, Mao Ganru. Application of TMAH Solutions in Manufacturing of Pressure Sensor[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2000, 29(6): 609-612.

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