介电可调薄膜材料及压控微波器件研究

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

介电可调薄膜材料及压控微波器件研究

蒋书文, 李汝冠, 王鲁豫, 刘兴钊, 李言荣

文章导航 > 电子科技大学学报 > 2009 > 38(5): 609-617

蒋书文, 李汝冠, 王鲁豫, 刘兴钊, 李言荣. 介电可调薄膜材料及压控微波器件研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

引用本文:

蒋书文, 李汝冠, 王鲁豫, 刘兴钊, 李言荣. 介电可调薄膜材料及压控微波器件研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

JIANG Shu-wen, LI Ru-guan, WANG Lu-yu, LIU Xing-zhao, LI Yan-rong. Investigations of Tunable Dielectric Thin Film Materials and Voltage-Controlled Microwave Devices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

Citation:

JIANG Shu-wen, LI Ru-guan, WANG Lu-yu, LIU Xing-zhao, LI Yan-rong. Investigations of Tunable Dielectric Thin Film Materials and Voltage-Controlled Microwave Devices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

介电可调薄膜材料及压控微波器件研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

1.
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都 610054

基金项目:

自然科学基金(60871049);教育部博士点基金(20060614009)

作者简介:
蒋书文(1969-)，男，博士，副教授，主要从事电子薄膜材料与集成器件方面的研究

中图分类号: TN604;TN61

Investigations of Tunable Dielectric Thin Film Materials and Voltage-Controlled Microwave Devices

1.
State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054

摘要: 利用介电可调薄膜材料的调谐特性研制的介质压控微波器件高频特性好、功率容量大、响应速度快,还有易集成、功耗小、成本低、可靠性高的特点,相比半导体管、铁氧体以及MEMS器件有明显的优势。该文系统介绍了近年来国内外介电可调薄膜材料及压控微波器件的研究进展,并结合作者的工作评述了介电可调薄膜材料和压控微波器件的应用情况。除研究最为集中的钛酸锶钡BaxSr1-xTiO3(BST)材料,还介绍了具有较高调谐率的铋基焦绿石铌酸铋镁Bi1.5MgNb1.5O7(BMN)薄膜材料,该材料介电损耗低(约0.002),介电常数适中(约86),温度系数小,是一种极具发展前景的微波介电可调材料。
- 钛酸锶钡BST薄膜 /
- 铌酸铋镁BMN薄膜 /
- 介电可调薄膜材料 /
- 压控微波器件
Abstract: Voltage-controlled devices based on tunable dielectric thin film materials are attractive for microwave applications for their excellent high frequency performance, power handling capability, and fast tuning speed. Dielectric voltage-controlled microwave devices offer advantages over semiconductor varactor diodes, ferrite, and MEMS devices with potential integration with microelectronic circuits, small power consumption, low cost, and high reliability. In this paper, based on the recent work of the authors, the recent development of tunable dielectric thin film materials and voltage-controlled microwave devices is introduced. Besides the intensively investigated BaxSr1-xTiO3 (BST) thin films, the alternative tunable Bi1.5MgNb1.5O7 (BMN) thin films with cubic pyrochlore structure are introduced due to relatively high tunability, low loss dielectric loss (~0.002), moderate permittivity (~86), and small temperature coefficient. BMN thin films may be one of potential tunable materials for microwave applications.

[1]	孙斌玮, 杨明, 苟君, 王军, 蒋亚东. 溶胶凝胶法制备LiTaO₃薄膜 . 电子科技大学学报, 2020, 49(2): 283-286. doi: 10.12178/1001-0548.2019098
[2]	苏星松, 周飞, 许宗珂, 李圆圆, 段国韬. 紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究 . 电子科技大学学报, 2017, 46(4): 625-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.04.024
[3]	陈柳, 曾成, 褚青如, 张洁, 补世荣, 宁俊松. 利用金属环聚焦的HTS薄膜R_s分布测试法的研究 . 电子科技大学学报, 2017, 46(1): 156-160. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.01.021
[4]	王敏, 李文芳, 张果戈, 王晓军, 唐鹏. Ba_xSr_1-xTiO₃微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能 . 电子科技大学学报, 2015, 44(5): 778-783. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.023
[5]	叶芸, 郭太良, 蒋亚东, 黎威智. PVDF薄膜的极化及其电性能研究 . 电子科技大学学报, 2012, 41(3): 463-466. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2012.03.027
[6]	魏昭荣, 杨定宇, 朱兴华, 杨维清. 电子束蒸发法制备MoO₃薄膜及其性质研究 . 电子科技大学学报, 2011, 40(6): 933-936. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2011.06.024
[7]	李波, 安建欣, 徐利梅. 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 461-465. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031
[8]	蒋洪川, 王超杰, 张万里, 向阳, 司旭, 彭斌, 李言荣. 掺Al对TaN薄膜微结构及电性能的影响 . 电子科技大学学报, 2010, 39(3): 440-442. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.025
[9]	蒲娟, 吴志明, 蒋亚东, 熊昊, 张良昌. 氮化硅薄膜热性能测试研究 . 电子科技大学学报, 2009, 38(2): 313-316. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.02.37
[10]	黄大贵, 谢明君, 张德银, 董政. LiTaO₃薄膜红外探测器热分析 . 电子科技大学学报, 2008, 37(4): 637-640.
[11]	蒋亚东, 陈璇, 太惠玲, 谢光忠, 杜晓松. 掺杂剂对聚苯胺/二氧化钛复合薄膜氨敏特性的影响 . 电子科技大学学报, 2008, 37(5): 773-776.
[12]	张德银, 黄大贵, 李金华, 但迪迪, 董政. 衬底效应对LiTaO₃薄膜制备的影响 . 电子科技大学学报, 2007, 36(4): 660-662,669.
[13]	葛启函, 邓宏, 陈航, 徐自强. 不同掺Al³⁺浓度的ZnO:Al薄膜性能研究 . 电子科技大学学报, 2006, 35(2): 253-256.
[14]	周英, 邓宏, 李燕, 程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜 . 电子科技大学学报, 2006, 35(5): 823-825,828.
[15]	何建, 罗正祥. 高温超导薄膜微波表面电阻测试方法的改进 . 电子科技大学学报, 2006, 35(4): 488-490.
[16]	曾葆青, 田时开, 殷吉昊, 杨中海. 碳纳米管薄膜的场发射特性研究 . 电子科技大学学报, 2003, 32(6): 624-627.
[17]	张映敏, 罗正祥, 羊恺, 张其劭. 高温超导薄膜微波表面电阻测试方法 . 电子科技大学学报, 2001, 30(6): 633-637.
[18]	阮世池. 声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析 . 电子科技大学学报, 1998, 27(6): 605-608.
[19]	贾宇明, 杨邦朝. Ta/Al合金薄膜TCR的方差分析 . 电子科技大学学报, 1997, 26(4): 398-401.
[20]	周鸿仁, 刘秀蓉, 徐蓓娜. 直流磁控溅射铂电阻薄膜 . 电子科技大学学报, 1997, 26(6): 662-665.

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 4599
HTML全文浏览量: 232
PDF下载量: 120
被引次数: 0

介电可调薄膜材料及压控微波器件研究

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都 610054

基金项目:

自然科学基金(60871049);教育部博士点基金(20060614009)

作者简介:
蒋书文(1969-)，男，博士，副教授，主要从事电子薄膜材料与集成器件方面的研究

收稿日期: 2009-06-24
刊出日期: 2009-10-15

中图分类号: TN604;TN61

关键词:

摘要: 利用介电可调薄膜材料的调谐特性研制的介质压控微波器件高频特性好、功率容量大、响应速度快,还有易集成、功耗小、成本低、可靠性高的特点,相比半导体管、铁氧体以及MEMS器件有明显的优势。该文系统介绍了近年来国内外介电可调薄膜材料及压控微波器件的研究进展,并结合作者的工作评述了介电可调薄膜材料和压控微波器件的应用情况。除研究最为集中的钛酸锶钡BaxSr1-xTiO3(BST)材料,还介绍了具有较高调谐率的铋基焦绿石铌酸铋镁Bi1.5MgNb1.5O7(BMN)薄膜材料,该材料介电损耗低(约0.002),介电常数适中(约86),温度系数小,是一种极具发展前景的微波介电可调材料。

English Abstract

蒋书文, 李汝冠, 王鲁豫, 刘兴钊, 李言荣. 介电可调薄膜材料及压控微波器件研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

引用本文:

蒋书文, 李汝冠, 王鲁豫, 刘兴钊, 李言荣. 介电可调薄膜材料及压控微波器件研究[J]. 电子科技大学学报, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

JIANG Shu-wen, LI Ru-guan, WANG Lu-yu, LIU Xing-zhao, LI Yan-rong. Investigations of Tunable Dielectric Thin Film Materials and Voltage-Controlled Microwave Devices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

Citation:

JIANG Shu-wen, LI Ru-guan, WANG Lu-yu, LIU Xing-zhao, LI Yan-rong. Investigations of Tunable Dielectric Thin Film Materials and Voltage-Controlled Microwave Devices[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2009, 38(5): 609-617. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.017

全文HTML

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回

期刊在线

编辑办公

友情链接

电子科技大学

版权所有 © 《电子科技大学学报》编辑部

地址: 成都市建设北路二段四号电子科技大学主楼中350室电话: 028-83202308,83207559 Email: xuebao@uestc.edu.cn

本系统由北京仁和汇智信息技术有限公司开发