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计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

邓浩,  陈树强,  马磊

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邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
引用本文: 邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
Citation: DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
详细信息

  • 中图分类号: O436.1

Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings

  • 摘要: 通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合,实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下,如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右,SAM更高效;对于示例结构,相对于RCWA,SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-12-15

计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
  • 刊出日期: 2015-12-15

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合,实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下,如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右,SAM更高效;对于示例结构,相对于RCWA,SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。

English Abstract

邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
引用本文: 邓浩, 陈树强, 马磊. 计算光栅零级衍射场的模态层吸收法[J]. 电子科技大学学报, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
Citation: DENG Hao, CHEN Shu-qiang, MA Lei. Calculation of Zero-Order Diffraction by Using the Modal Slice Absorption Method for Gratings[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China, 2015, 44(6): 851-857. doi: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010
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